[發(fā)明專利]微機械的轉速傳感器和用于制造該微機械的轉速傳感器的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680067979.1
• 申請日: 2016-11-10
• 公開（公告）號: CN108449950B
• 公開（公告）日: 2021-10-08
• 發(fā)明（設計）人: R.諾伊爾;T.奧姆斯;R.莫爾;M.哈塔斯;C.赫普納;O-A.普呂茨;B.施密特;R.舍本;F.霍伊克
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01C19/5712
• 分類號: G01C19/5712;G01C19/5747
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 方莉;宣力偉

1.微機械的轉速傳感器（100），其具有帶旋轉振蕩軸承（157）的旋轉振蕩器（140），所述旋轉振蕩軸承包括：

搖臂（152）；

搖動彈簧棒（154），所述搖動彈簧棒使所述搖臂（152）與所述轉速傳感器（100）的襯底（155）彈性地連接；以及

兩個支承彈簧棒（153），所述兩個支承彈簧棒在所述搖動彈簧棒（154）的相反側上使所述搖臂（152）與所述旋轉振蕩器（140）彈性地連接，其中所述搖動彈簧棒（154）垂直于所述搖臂（152）延伸，并且其中，所述支承彈簧棒（153）平行于所述搖動彈簧棒（154）延伸。

2.根據權利要求1所述的轉速傳感器（100），其中所述支承彈簧棒（153）對稱地構造在所述搖動彈簧棒（154）的相反側上。

3.根據權利要求1或2所述的轉速傳感器（100），所述轉速傳感器還包括：

第一驅動塊（112），所述第一驅動塊布置在所述旋轉振蕩器（140）旁邊并且通過第一彈簧（144）耦合到所述旋轉振蕩器（140）上；以及

第二驅動塊（122），所述第二驅動塊布置在所述旋轉振蕩器（140）旁邊并且通過第二彈簧（145）耦合到所述旋轉振蕩器（140）上；

其中所述搖動彈簧棒（154）沿著所述第一彈簧（144）與第二彈簧（145）之間的連接線延伸。

4.根據權利要求1或2所述的轉速傳感器（100），其中所述旋轉振蕩軸承（157）還包括：

其它搖臂（162）；

其它搖動彈簧棒（164），所述其它搖動彈簧棒使所述其它搖臂（162）與所述轉速傳感器（100）的襯底（155）彈性地連接；以及

兩個其它支承彈簧棒（163），所述兩個其它支承彈簧棒在所述其它搖動彈簧棒（164）的相反側上使所述其它搖臂（162）與所述旋轉振蕩器（140）彈性地連接。

5.根據權利要求4所述的轉速傳感器（100），其中所述搖動彈簧棒（154）和所述其它搖動彈簧棒（164）共線地來構造。

6.根據權利要求4所述的轉速傳感器（100），其中：

所述旋轉振蕩器（140）具有所述旋轉振蕩器（140）的第一突出部（156）和第二突出部（166）；

所述支承彈簧棒（153）使所述搖臂（152）與所述第一突出部（156）或第二突出部（166）連接；而且

所述其它支承彈簧棒（163）使所述其它搖臂（162）與所述第一突出部（156）或第二突出部（166）連接。

7.根據權利要求6所述的轉速傳感器（100），其中：

所述第一突出部（156）和第二突出部（166）在所述旋轉振蕩器（140）的留空部（170）的彼此對置的側面上形成；以及

所述搖動彈簧棒（154）使所述搖臂（152）并且所述其它搖動彈簧棒（164）使所述其它搖臂（162）與所述轉速傳感器（100）的襯底（155）在所述第一突出部（156）與第二突出部（166）之間連接。

8.用于制造微機械的轉速傳感器（100）的方法，所述微機械的轉速傳感器具有旋轉振蕩器（140），所述旋轉振蕩器包括利用如下步驟對旋轉振蕩軸承（157）的構造：

構造（200）搖臂（152）；

借助于搖動彈簧棒（154）使所述搖臂（152）與所述轉速傳感器（100）的襯底（155）彈性地連接；并且

借助于兩個支承彈簧棒（153）使所述搖臂（152）與所述旋轉振蕩器（140）在所述搖動彈簧棒（154）的相反側上如此彈性地連接，使得所述搖動彈簧棒（154）垂直于所述搖臂（152）延伸，并且其中，所述支承彈簧棒（153）平行于所述搖動彈簧棒（154）延伸。