[發(fā)明專利]壓電撓曲傳感器以及檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680065537.3
• 申請日: 2016-10-31
• 公開（公告）號: CN108291796B
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 源明裕也;千田進(jìn)悟
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: G01B7/16
• 分類號: G01B7/16;G01L1/16
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 李逸雪

1.一種壓電撓曲傳感器，具備：

第1壓電板，平面形狀為矩形或者正方形，具有第1主面和與所述第1主面對置的第2主面，該第1壓電板的極化軸方向平行于所述第1以及第2主面、并且是沿著所述矩形或者正方形的任意邊的方向；

第1、第2分割電極，被設(shè)置于所述第1壓電板的所述第1主面，隔著在與所述第1壓電板的極化軸方向交叉的方向上延伸的第1電極非形成區(qū)域，沿著所述第1壓電板的極化軸方向而被配置；和

第3、第4分割電極，被設(shè)置于所述第1壓電板的所述第2主面，隔著在與所述第1壓電板的極化軸方向交叉的方向上延伸的第2電極非形成區(qū)域，沿著所述第1壓電板的極化軸方向而被配置，

所述壓電撓曲傳感器構(gòu)成壓電元件，該壓電元件具有所述第1壓電板以及所述第1～第4分割電極，且具有相互對置的第1、第2主面、相互對置的第1、第2側(cè)面以及相互對置的第1、第2端面，

所述第1分割電極與所述第3分割電極隔著所述第1壓電板而相互對置，所述第2分割電極與所述第4分割電極隔著所述第1壓電板而相互對置，

所述第1分割電極與所述第4分割電極被電連接，所述第2分割電極與所述第3分割電極被電連接，

所述壓電元件具有在所述第1壓電板層疊的第2壓電板，

所述第2壓電板的極化軸方向是與所述第1壓電板的極化軸方向相反的方向，

在所述第2壓電板的與所述第1壓電板側(cè)的面相反的一側(cè)的面，隔著在與所述第2壓電板的極化軸方向交叉的方向上延伸的第3電極非形成區(qū)域，設(shè)置有沿著所述第2壓電板的極化軸方向而被配置的第5、第6分割電極，

所述第1分割電極與所述第5分割電極隔著所述第2壓電板而相互對置，所述第2分割電極與所述第6分割電極隔著所述第1壓電板而相互對置，

所述第1分割電極、所述第4分割電極與所述第6分割電極被電連接，所述第2分割電極、所述第3分割電極與所述第5分割電極被電連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電撓曲傳感器，其中，

進(jìn)一步具備：

第1外部電極，將所述第1分割電極與所述第4分割電極電連接；和

第2外部電極，將所述第2分割電極與所述第3分割電極電連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電撓曲傳感器，其中，

所述第1、第2電極非形成區(qū)域在與所述第1壓電板的極化軸方向正交的方向上延伸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電撓曲傳感器，其中，

所述第1～第4分割電極未在所述壓電元件的所述第1、第2側(cè)面露出。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電撓曲傳感器，其中，

在所述壓電元件的所述第1主面以及所述第2主面內(nèi)的至少一方，層疊有封裝基板。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓電撓曲傳感器，其中，

所述封裝基板具有第1、第2封裝基板，

在所述壓電元件的所述第1主面層疊有所述第1封裝基板，在所述壓電元件的所述第2主面層疊有所述第2封裝基板。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電撓曲傳感器，其中，

在俯視時，在與所述第2電極非形成區(qū)域的至少一部分重疊的位置，在所述第2封裝基板設(shè)置有在與所述第1壓電板的極化軸方向交叉的方向上延伸的槽。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓電撓曲傳感器，其中，

所述槽在與所述第1壓電板的極化軸方向正交的方向上延伸。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓電撓曲傳感器，其中，

所述槽在所述第2封裝基板，位于所述第1壓電板的極化軸方向上的中央。

10.一種檢測裝置，具備：

包含具有第1、第2輸入端和輸出端的運(yùn)算放大器的傳感器電路；以及

權(quán)利要求1～9中的任意一項(xiàng)所述的壓電撓曲傳感器，

所述壓電撓曲傳感器與所述運(yùn)算放大器的所述第1輸入端連接。