[發明專利]保護膜形成用片有效
| 申請號： | 201680063564.7 | 申請日： | 2016-11-02 |
| 公開（公告）號： | CN108352365B | 公開（公告）日： | 2021-08-10 |
| 發明（設計）人： | 山岸正憲;佐藤明德 | 申請（專利權）人： | 琳得科株式會社 |
| 主分類號： | H01L23/12 | 分類號： | H01L23/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人： | 王利波 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 保護膜 形成 | ||
1.一種保護膜形成用片，其是在第1支撐片上層疊熱固性樹脂層而成的保護膜形成用片，其中，
所述熱固性樹脂層是用于粘貼于半導體晶片的具有凸塊的表面并通過進行熱固化而在所述表面形成保護膜的層，
所述熱固性樹脂層的所述第1支撐片側表面在熱固化前的表面自由能與所述第1支撐片的所述熱固性樹脂層側表面的表面自由能之差為10mJ/m2以上，
所述熱固性樹脂層的所述第1支撐片側表面在熱固化前對水的接觸角與所述第1支撐片的所述熱固性樹脂層側表面對水的接觸角之差為30°以上。
2.根據權利要求1所述的保護膜形成用片，其是在第1支撐片的第1粘合劑層上層疊熱固性樹脂層而成的保護膜形成用片，所述第1支撐片是在第1基材上層疊所述第1粘合劑層而成的，其中，
所述熱固性樹脂層的所述第1支撐片側表面在熱固化前的表面自由能與所述第1粘合劑層的所述熱固性樹脂層側表面的表面自由能之差為10mJ/m2以上，
所述熱固性樹脂層的所述第1支撐片側表面在熱固化前對水的接觸角、與所述第1粘合劑層的所述熱固性樹脂層側表面對水的接觸角之差為30°以上。
3.根據權利要求1所述的保護膜形成用片，其是在第1支撐片的第1粘合劑層上層疊熱固性樹脂層而成的保護膜形成用片，所述第1支撐片是在第1基材上層疊第1中間層、并在所述第1中間層上層疊所述第1粘合劑層而成的，其中，
所述熱固性樹脂層的所述第1支撐片側表面在熱固化前的表面自由能與所述第1粘合劑層的所述熱固性樹脂層側表面的表面自由能之差為10mJ/m2以上，
所述熱固性樹脂層的所述第1支撐片側表面在熱固化前對水的接觸角、與所述第1粘合劑層的所述熱固性樹脂層側表面對水的接觸角之差為30°以上。
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