[發明專利]干式真空泵

有效

• 申請號: 201680063046.5
• 申請日: 2016-10-31
• 公開（公告）號: CN108431422B
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 彼得·伯奇;羅伯特·詹金斯;克萊夫·滕納
• 申請（專利權）人: 萊寶有限公司
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C27/00
• 代理公司: 北京鴻德海業知識產權代理事務所(普通合伙) 11412
• 代理人: 袁媛

本發明涉及一種干式真空泵，其包括泵殼體，該泵殼體形成多個吸入室，其中轉子元件布置在吸入室中，以便將泵介質從高真空側入口輸送到出口。在每個吸入室中布置至少一個轉子元件。轉子元件連接到轉子軸。轉子軸由軸承支撐，其中一個高真空側軸承布置在一個切口中。在高真空側軸承和相鄰于高真空側軸承的至少一個吸入室之間布置密封裝置。切口通過第一通道連接到干式真空泵的區域中，該區域中的壓力比在相鄰于高真空側軸承的至少一個吸入室中的壓力更高。

【技術領域】

本發明涉及一種用于產生真空的干式真空泵。

【背景技術】

已知的干式真空泵包括連接到轉子軸的轉子元件，所述轉子軸被支撐用于旋轉并由電動機驅動。轉子元件布置在由泵殼體形成的吸入室中。泵殼體具有入口和出口，通過轉子元件的旋轉將泵介質從入口輸送到出口。為此目的，干式真空泵尤其包括多個，優選兩個轉子元件位于一個吸入室中，配合以輸送泵介質。

為了產生高真空，干式真空泵設計為多級泵，使得在泵殼體中形成多個吸入室，其中每個吸入室布置有至少一個轉子元件。各個吸入室通過合適的連接通道流體連接，使得泵介質從入口通過每個吸入室輸送。特別地，由此產生小于1毫巴至小于0.0001毫巴的壓力。

已知的干式真空泵的特殊之處在于，轉子元件和泵殼體之間的密封是無油的。這提供了特殊的優勢，即不會有含油空氣從干式真空泵中逸出，從而污染連接的設備。

轉子軸由軸承相對于泵殼體支撐，軸承特別是滾子軸承。由于轉子軸的高速旋轉，必須對這些軸承進行潤滑。用于潤滑的潤滑劑必須與軸承上占主導的(“prevailing”)真空相適應，以防止潤滑劑泄露。這限制了用于軸承可能的潤滑劑的選擇。由于干式真空泵中的潤滑和軸承必須相互匹配，所以對于可使用的軸承也有限制，這通常導致較高的成本，因為需要特殊軸承。

【發明內容】

本發明的目的是提供一種干式真空泵，其中可以使用更經濟的軸承。

該目的通過根據權利要求1所述的干式真空泵來實現。

本發明的干式真空泵包括泵殼體。泵殼體形成多個吸入室。轉子元件布置在吸入室中，用于將泵介質從高真空側入口輸送到出口。在每個吸入室中布置至少一個轉子元件。優選地，在至少一個吸入室中布置兩個轉子元件，它們以合適的方式配合，用于將泵介質從入口輸送到出口。

根據本發明，轉子元件連接到轉子軸。如果每個吸入室提供有多于一個的轉子元件，則單個的轉子元件與相應的轉子軸連接。在此，優選地通過電動機驅動至少一個轉子軸。

根據本發明，轉子軸由軸承支撐，其中高真空側軸承布置在凹部中。在此，高真空側軸承是沿縱向看更接近高真空的軸承。這里，高真空側軸承不一定布置在轉子軸的高真空側的端部上。然而，這是可能的，并且被高真空側軸承的輪廓所覆蓋。另一方面，沿高真空方向看，存在一個出口側軸承，其沿著轉子軸的縱向布置在高真空側軸承之前。

根據本發明的凹部優選地由殼體形成并且尤其朝向轉子軸敞開。因為根據本發明，高真空側軸承布置在凹部中，所以凹部形成在高真空側軸承的位置處。

根據本發明，一種密封裝置布置在高真空側軸承和特別緊鄰高真空側軸承的至少一個吸入室之間。此外，第一管道將其中布置有高真空側軸承的凹部與干真空泵的區域相連，在該區域中高于相鄰于高真空側軸承的至少一個吸入室中壓力的壓力占主導。第一管道確保在凹部中的壓力高于與高真空側軸承相鄰的至少一個抽吸室中的壓力。因此，高真空側軸承承受的壓力低于與高真空側軸承相鄰的至少一個吸入室中的壓力。因此，有可能使用其它潤滑劑，并因此也使用更經濟的軸承，因為這些軸承必須滿足對于高真空的兼容性方面較不嚴格的要求。具體而言，潤滑劑泄漏的問題減少了。通過提供第一管道來確保在凹部中確定的壓力占主導，該壓力由第一管道連接到的干式真空泵的區域確定。

優選地，干式真空泵是爪式泵、羅茨泵或螺桿式泵。