[發明專利]圖像生成方法、圖像生成裝置、圖像生成程序及存儲介質

有效

• 申請號: 201680062783.3
• 申請日: 2016-09-05
• 公開（公告）號: CN108450017B
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發明（設計）人: 大高章弘;中村共則
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

圖像生成裝置是取得表示在半導體器件中流動的電流的方向的電流方向圖像的裝置，具備：信號施加部，其將刺激信號施加于半導體器件；磁檢測部，其輸出基于通過施加刺激信號而產生的磁性的檢測信號；及圖像生成部，其以根據基于刺激信號而生成的參照信號與檢測信號的相位差，生成包含表示相位差的相位成分的相位圖像數據，且基于相位圖像數據，生成表示電流的方向的電流方向圖像的方式構成。

技術領域

本發明涉及圖像生成方法、圖像生成裝置、圖像生成程序及存儲介質。

背景技術

一直以來，為了檢查半導體器件，已知有檢測半導體器件中的電流的強度或電流流動的部位的檢測裝置。例如，在專利文獻1中公開了一種非破壞解析裝置，其使用磁檢測器(超傳導量子干涉元件：SQUID)檢測通過自半導體器件產生的電流而感應的磁性。在該裝置中，對半導體器件照射通過與基準信號同步的調制信號進行強度調制的調制光束。而且，基于自磁檢測器輸出的檢測信號與基準信號而獲得相位差圖像。另外，在非專利文獻1中公開了一種自由SQUID等磁檢測器檢測出的磁通密度求出平面方向的電流密度的方法。在該非專利文獻1中，提出了一種使用畢奧-薩伐爾定律將電流與磁場關系公式化，自磁場求出電流密度的方法。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2005-134196號公報

非專利文獻

非專利文獻1：Bradley J.Roth,Nestor G.Sepulveda,and John P.Wikswo,Jr.,“Using a magnetometer to image a two-dimensional current distribution.”J.Appl.Phys.,65(1),1January 1989.

發明內容

發明所要解決的問題

然而，在專利文獻1中，不過是單單使用相位差圖像來高靈敏度地區分良品與不良品的差異。另外，在非專利文獻1中，不過是公開了自磁場求出電流密度的理論公式。這樣，在任一文獻中，均未公開求出半導體器件中的電流的流動方向的方法等。因此，本發明的一個方面的目的在于，提供一種能夠生成表示半導體器件中的電流的方向的圖像即電流方向圖像的圖像生成方法及圖像生成裝置。

解決問題的技術手段

一個方面所涉及的圖像生成方法是生成表示在半導體器件中流動的電流的方向的圖像的圖像生成方法，包含：將刺激信號施加于半導體器件的步驟；檢測通過刺激信號的施加而產生的磁性，且輸出檢測信號的步驟；根據基于刺激信號而生成的參照信號與檢測信號的相位差，生成包含表示相位差的相位成分的相位圖像數據的步驟；基于相位圖像數據，生成表示電流的方向的電流方向圖像的步驟。

另外，一個方面所涉及的圖像生成裝置是取得表示在半導體器件中流動的電流的方向的圖像的圖像生成裝置，具備：信號施加部，其將刺激信號施加于半導體器件；磁檢測部，其輸出基于通過刺激信號的施加而產生的磁性的檢測信號；圖像生成部，其根據基于刺激信號而生成的參照信號與檢測信號的相位差，生成包含表示相位差的相位成分的相位圖像數據，且基于相位圖像數據，生成表示電流的方向的電流方向圖像。

另外，一個方面所涉及的圖像生成程序是用于使計算機執行通過對半導體器件施加刺激信號而取得表示在半導體器件中流動的電流的方向的圖像的處理的程序，使計算機作為以下各部而發揮功能：相位圖像數據生成部，其自基于通過刺激信號的施加而產生的磁性的檢測信號、與基于刺激信號而生成的參照信號的相位差，生成包含表示相位差的相位成分的相位圖像數據；及圖像生成部，其基于相位圖像數據而生成表示電流的方向的電流方向圖像。另外，另一個方面所涉及的存儲介質是存儲圖像生成程序的計算機可讀取的存儲介質。