[發明專利]用于電子元件的元件操控裝置的自主調整的設備和方法有效
| 申請號: | 201680060239.5 | 申請日: | 2016-09-22 |
| 公開(公告)號: | CN108352346B | 公開(公告)日: | 2022-09-30 |
| 發明(設計)人: | 康斯坦丁·科赫;馬庫斯·費斯特爾;弗朗茨·布蘭德爾;賴納·米利希;夏拉海·拉克哈丹道 | 申請(專利權)人: | 米爾鮑爾有限兩合公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H05K13/04;H01L23/00;G01N21/88;H01L21/67;H01L21/683;H01L21/68;G01N21/95 |
| 代理公司: | 北京華夏正合知識產權代理事務所(普通合伙) 11017 | 代理人: | 韓登營 |
| 地址: | 德國羅*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 電子元件 元件 操控 裝置 自主 調整 設備 方法 | ||
1.一種用于電子元件(B)的元件操控裝置(100)的自主調整的裝置,其設計和布置成于分發點(SPS)處從排出單元(110)轉移元件(B)至具有多個拾取部件(132)的第一可調整轉動裝置(130),并
將接收到的元件(B)繞其縱向軸線或橫向軸線(LA、QA)以第一預定角度轉動,進送元件至放置點(ABS),并在該放置點將元件放置到可調整接收裝置(200)的預定接收點(ES1)處,包括:
朝向所述分發點(SPS)的第一可調整傳感器組件(K1),其設計和布置成
檢測位于所述分發點(SPS)處的所述拾取部件(132)相對于所述排出單元(110)的位置,以及
朝向放置點(ABS)的第二可調整傳感器組件,其設計和布置成檢測接收點(ES1)相對于位于所述放置點(ABS)處的拾取部件(132)的位置,其中
第一和第二可調整傳感器組件分別設計和布置成從至少兩個彼此不同的檢測方向來檢測分發點(SPS)/放置點(ABS),并且
第一和第二可調整傳感器組件分別設計和布置成為下游控制器提供所述第一可調整轉動裝置(130)的每個轉移位置的采集圖像,其中
為所述第一可調整轉動裝置(130)的每個轉移位置,所述控制器基于所得到的采集圖像來確定修正矢量,該修正矢量用于在所述元件操控裝置(100)的操作期間調整所述第一可調整轉動裝置(130)以驅動所述拾取部件(132)的調整和/或調整各個拾取部件(132)和/或調整接收裝置(200)。
2.根據權利要求1所述的裝置,所述裝置還包括:
以90°角度從所述第一可調整轉動裝置(130)的周圍朝向被引導經過的拾取部件(132)的位置和特性傳感器(K2),所述位置和特性傳感器設計和布置成確定所述拾取部件(132)相對于先前定義的參考點的相對位置。
3.根據權利要求1所述的裝置,其中,所述第一可調整傳感器組件和第二可調整傳感器組件各自由第一成像傳感器和第二成像傳感器組成。
4.根據權利要求1所述的裝置,其中
所述第一可調整傳感器組件和第二可調整傳感器組件各自由從所述第一可調整轉動裝置(130)的中心垂直朝向于所述分發點(SPS)或所述放置點(ABS)的成像傳感器和至少兩個互相呈直角布置的反射器構成,其中
所述成像傳感器適用于從第一和第二檢測方向非直接地檢測所述分發點(SPS)或所述放置點(ABS),其中
所述反射器被布置成使得兩個檢測方向彼此正交。
5.根據權利要求2所述的裝置,其中
所述控制器基于由所述可調整傳感器組件所獲得的采集圖像適用于并意在確定和存儲位于所述分發點(SPS)的拾取部件(132)相對于所述排出單元(110)的相對位置,以及
檢測和存儲接收點(ES1)相對于位于放置點(ABS)的拾取部件(132)的相對位置,和/或
檢測和存儲特定的拾取部件(132)相對于根據權利要求2所述的先前定義的參考點的位置偏差,以及
根據所確定的位置,確定每個拾取部件(132)和/或所述拾取部件(132)所固定的所述第一可調整轉動裝置(130)的位置的修正矢量,和/或
根據所確定的位置,確定接收裝置(200)的修正矢量,和
以同樣的方式進一步確定所述第一可調整轉動裝置(130)的每一轉移位置的修正矢量,和
在操作中控制所述第一可調整轉動裝置(130)和/或各個拾取部件(132)的定位以抵消所確定的拾取部件(132)的位置和所述排出單元(110)的位置之間的偏差,和
在操作中控制所述接收裝置(200)和/或各個拾取部件(132)的定位以抵消所確定的接收點(ES1)的位置和所述拾取部件(132)之間的偏差,和/或
將所述拾取部件(132)相對于所述排出單元(110)的相對位置和/或其相對于接收點(ES1)的相對位置與所述拾取部件(132)相對于所述先前定義的參考點的位置作比較。
6.根據權利要求2所述的裝置,其中,所述第一和/或第二可調整傳感器組件永久地連接到所述元件操控裝置(100),和/或
所述位置和特性傳感器(K2)永久地連接到所述元件操控裝置(100)。
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





