[發明專利]加熱器單元

有效

• 申請號: 201680059985.2
• 申請日: 2016-09-28
• 公開（公告）號: CN108141917B
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: 花待年彥;相川尚哉
• 申請（專利權）人: 日本發條株式會社
• 主分類號: H05B3/74
• 分類號: H05B3/74;H01L21/02;H01L21/3065;H01L21/683;H05B3/18
• 代理公司: 北京善任知識產權代理有限公司 11650
• 代理人: 金楊;王大方

1.一種加熱器單元，其特征在于，具有：

第一加熱器部；

第二加熱器部，相對于所述第一加熱器部獨立地受控制；

基材，在和所述第一加熱器部與所述第二加熱器部之間相對應的區域設置有槽；以及

蓋部，配置于所述槽的開口端，并與所述槽一起提供封閉空間，

所述蓋部設于所述第一加熱器部與所述槽之間、以及所述第二加熱器部與所述槽之間。

2.根據權利要求1所述的加熱器單元，其特征在于，

所述封閉空間為真空。

3.根據權利要求1所述的加熱器單元，其特征在于，

所述封閉空間填充有氣體。

4.根據權利要求1所述的加熱器單元，其特征在于，

所述封閉空間填充有導熱率比所述基材低的物質。

5.根據權利要求1所述的加熱器單元，其特征在于，還具有：

絕緣層，覆蓋所述第一加熱器部和所述第二加熱器部；和

靜電吸盤，隔著所述絕緣層安裝于所述基材。

6.根據權利要求5所述的加熱器單元，其特征在于，

在所述第一加熱器部與所述第二加熱器部之間設置有去除了所述絕緣層的區域。

7.根據權利要求1所述的加熱器單元，其特征在于，

所述槽被設置成在俯視觀察所述基材時呈環狀，

所述蓋部為環形。