[發明專利]玻璃基板、層疊基板和層疊體

在審

• 申請號: 201680058008.0
• 申請日: 2016-09-28
• 公開（公告）號: CN108137379A
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發明（設計）人: 塙優;小野和孝;澤村茂輝
• 申請（專利權）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: C03C3/085
• 分類號: C03C3/085;C03C3/087;C03C3/091;C03C17/06;C03C27/04;H01L21/683;H01L23/15
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 苗堃;金世煜

1.一種玻璃基板，作為基本組成，以氧化物基準的摩爾百分比表示，含有以下成分：

SiO₂：58～75％，

Al₂O₃：4.5～16％，

B₂O₃：0～6％，

MgO：0～6％，

CaO：0～6％，

SrO：5～20％，

BaO：5～20％，

MgO+CaO+SrO+BaO：15～40％，

堿金屬氧化物的含量以氧化物基準的摩爾百分比表示為0～0.1％，50℃～350℃的平均熱膨脹系數α為56×10^－7/℃～90×10^－7/℃。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板，其中，利用下述式(1)求得的值為56～90，下述式(1)表示以氧化物基準的摩爾百分比表示的各氧化物的含量的比例關系，

0.174×(SiO₂的含量)－0.012×(Al₂O₃的含量)+0.317×(B₂O₃的含量)+0.988×(MgO的含量)+1.715×(CaO的含量)+2.011×(SrO的含量)+2.251×(BaO的含量)+0.076 (1)。

3.根據權利要求1或2所述的玻璃基板，其中，以氧化物基準的摩爾百分比表示，SiO₂和Al₂O₃的合計含量為65％以上。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的玻璃基板，其中，在溫度90℃、濃度0.1當量的HCl溶液中浸漬20小時后的每單位面積的重量減少量為0.3mg/cm²以下。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的玻璃基板，其中，在溫度25℃、濃度5％的HF溶液中浸漬20分鐘后的每單位面積的重量減少量為13mg/cm²以下。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的玻璃基板，其中，在溫度90℃、濃度0.1當量的HCl溶液中浸漬20小時后的在厚度1mm時的霧度率為50％以下。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的玻璃基板，其中，在溫度25℃、濃度5％的HF溶液中浸漬20分鐘后的霧度率為50％以下。

8.根據權利要求1～7中任一項所述的玻璃基板，其中，失透溫度為1250℃以下。

9.根據權利要求1～8中任一項所述的玻璃基板，其中，以氧化物基準的質量百萬分比表示，Fe₂O₃的含量為200ppm以下。

10.根據權利要求1～9中任一項所述的玻璃基板，其中，楊氏模量為65GPa以上。

11.根據權利要求1～10中任一項所述的玻璃基板，其中，厚度為2.0mm以下。

12.根據權利要求1～11中任一項所述的玻璃基板，其中，面積為70～2500cm²。

13.根據權利要求1～12中任一項所述的玻璃基板，其中，所述玻璃基板的形狀為圓形。

14.根據權利要求1～13中任一項所述的玻璃基板，其中，所述玻璃基板的β－OH為0.05～0.65mm^－1。

15.根據權利要求1～14中任一項所述的玻璃基板，其中，在所述玻璃基板的至少一個主表面具有遮光膜。