[發(fā)明專利]薄膜觸控傳感器及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680055097.3
• 申請日: 2016-09-21
• 公開（公告）號: CN108139823B
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 崔镕錫;金承國;金鐘熙;徐敏碩
• 申請（專利權(quán)）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041;G02F1/1333
• 代理公司: 北京市中倫律師事務(wù)所 11410
• 代理人: 楊黎峰;鐘錦舜

本發(fā)明提供了一種薄膜觸控傳感器及其制造方法，更具體地涉及能改善可視性并降低導(dǎo)電圖案層的電阻的一種薄膜觸控傳感器及其制造方法，其中，在該薄膜觸控傳感器中依序設(shè)置有導(dǎo)電圖案層以及分離層，且在導(dǎo)電圖案層以及分離層中的至少一個的表面上設(shè)置有基膜，該薄膜觸控傳感器還包括設(shè)置在分離層以及導(dǎo)電圖案層之間并包括SiO_xN_y(0≤x≤4，y＝4?x)的覆蓋層。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及薄膜觸控傳感器及其制造方法。

背景技術(shù)

隨著觸控輸入方式變成下一代輸入方式的焦點，正嘗試在各種電子裝置中引入觸控輸入方式。因此，也正在活躍地進行能夠應(yīng)用至不同環(huán)境并準(zhǔn)確地辨識碰觸的觸控傳感器的研發(fā)。

例如，在具有觸控輸入型顯示器的電子裝置的例子中，具有改善的便攜性、實現(xiàn)超輕重量且低功耗的超薄柔性顯示器是下一代顯示器的焦點，且因此需要開發(fā)可應(yīng)用至這種顯示器的觸控傳感器。

柔性顯示器意指在柔性基板上制造的顯示器，柔性基板能夠被彎曲、折迭或變形，而不降低操作特性，且其技術(shù)已開發(fā)用于制造柔性LCD、柔性O(shè)LED、電子紙等等中。

為了將觸控輸入方式應(yīng)用至這樣的柔性顯示器，需要具有極佳的彎曲性與回復(fù)力且具有優(yōu)越的柔性與彈性的觸控傳感器。

關(guān)于用于制造柔性顯示器的薄膜觸控傳感器，已提出了包括有埋入透明樹脂基膜中的布線的布線基板。

用于制造上述布線基板的方法包括：在承載基板上形成金屬布線的布線形成工藝、通過將透明樹脂溶液涂布至承載基板以覆蓋金屬布線并進行干燥來形成透明樹脂基膜的壓層過程、以及從承載基板剝離透明樹脂基膜的剝離過程。

為了容易地執(zhí)行剝離過程，上述制造方法采用在基板表面上先形成例如硅樹脂或氟樹脂之類的有機剝離劑，或例如類鉆碳(DLC)薄膜或氧化鋯薄膜之類的無機剝離劑的方法。

然而，在使用無機剝離劑的例子中，當(dāng)從承載基板剝離基膜以及金屬布線時，基膜以及金屬布線不會從其順暢剝離，使得一部分的基膜或金屬布線留在承載基板上，且用作剝離劑的有機材料粘在基膜以及金屬布線的表面上。

也就是說，即使使用了剝離劑，也可能無法從基板完全剝離布線基板的金屬布線。

為了解決上述問題，韓國授權(quán)專利第10-1191865號揭露了一種方法，其包括：在制造埋有金屬布線的柔性基板期間，在基板上形成能夠被光或溶劑移除的犧牲層、金屬布線、以及聚合物材料(柔性基板)；以及然后使用光或溶劑移除犧牲層，以從基板剝離金屬布線以及聚合物材料(柔性基板)。

然而，上述方法在大尺寸中難以進行移除犧牲層工藝，且不適用于高溫工藝，因此無法使用多種薄膜基材。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻]

[專利文獻]

專利文獻1：韓國授權(quán)專利第1191865號

發(fā)明內(nèi)容

技術(shù)問題

因此，本發(fā)明的一目的是提供具有優(yōu)異的可視性的薄膜觸控傳感器。

此外，本發(fā)明的另一目的是提供具有低電阻導(dǎo)電圖案的薄膜觸控傳感器。

此外，本發(fā)明的另一目的是提供由于能夠在承載基板上執(zhí)行工藝而可容易地形成圖案層等的薄膜觸控傳感器，及其制造方法。

技術(shù)方案