[發明專利]用于制造輻射探測器的方法和輻射探測器

有效

• 申請號: 201680053905.2
• 申請日: 2016-09-16
• 公開（公告）號: CN108028263B
• 公開（公告）日: 2022-10-21
• 發明（設計）人: H·利夫卡;J·M·E·貝肯;R·庫霍恩;P·A·范哈爾;H·K·維喬雷克;H·胡梅爾;C·R·龍達;M·西蒙
• 申請（專利權）人: 皇家飛利浦有限公司
• 主分類號: H01L27/30
• 分類號: H01L27/30;G01T1/20
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 王英;劉炳勝

1.一種用于制造用于電離輻射的輻射探測器的方法，所述輻射探測器在探測器層(4、14、24)中包括作為直接轉換材料和/或作為閃爍體材料的第一無機-有機鹵化物鈣鈦礦材料，所述方法包括：

提供包括與所述第一無機-有機鹵化物鈣鈦礦材料不同的第二無機-有機鹵化物鈣鈦礦材料的引晶層(3、13、23)的引晶步驟(101)，以及

通過從所述引晶層(3、13、23)上的溶液生長所述第一無機-有機鹵化物鈣鈦礦材料來形成所述探測器層(4、14、24)的層生長步驟(102)。

2.根據權利要求1所述的方法，

其中，所述第一無機-有機鹵化物鈣鈦礦材料和所述第二無機-有機鹵化物鈣鈦礦材料由甲基銨金屬鹵化物和/或甲脒金屬鹵化物組成或包括甲基銨金屬鹵化物和/或甲脒金屬鹵化物。

3.根據權利要求2所述的方法，

其中，所述金屬鹵化物是鉛鹵化物或錫鹵化物。

4.根據權利要求3所述的方法，

其中，所述第一無機-有機鹵化物鈣鈦礦材料由碘化物組成或包括碘化物，并且所述第二無機-有機鹵化物鈣鈦礦材料由溴化物組成或包括溴化物。

5.根據權利要求4所述的方法，

其中，所述溶液是金屬乙酸鹽/碘化氫溶液與甲胺/碘化氫溶液的混合物。

6.根據權利要求1所述的方法，

其中，在所述層生長步驟(102)中，在所述探測器層(14)中包括(103)發光材料。

7.根據權利要求6所述的方法，

其中，所述發光材料包括發光量子點和/或磷光體顆粒。

8.根據權利要求1所述的方法，

其中，所述層生長步驟(102)被提供為使得所述探測器層具有10μm或更大的厚度。

9.根據權利要求1所述的方法，

還包括在所述探測器層(24)上提供平坦化電荷阻擋層(26)的平坦化步驟(104)。

10.根據權利要求1所述的方法，還包括：

通過局部沉積所述第二無機-有機鹵化物鈣鈦礦材料來提供所述引晶層(3、13、23)的結構的提供步驟(101)。

11.根據權利要求10所述的方法，還包括：

通過噴墨、縫型模和/或絲網印刷來提供所述引晶層(3、13、23)的結構的提供步驟(101)。

12.根據權利要求10所述的方法，還包括：

在所述提供步驟(101)之前的、使要在其上沉積所述引晶層的襯底的表面粗糙化的粗糙化步驟(100)。

13.一種用于探測電離輻射的輻射探測器，包括探測器層(4、14、24)，其中，所述輻射探測器借助于根據權利要求1所述的方法的步驟來制造，其中，所述輻射探測器包括所述引晶層(3、13、23)和所述探測器層(4、14、24)，所述引晶層包括與所述第一無機-有機鹵化物鈣鈦礦材料不同的所述第二無機-有機鹵化物鈣鈦礦材料，并且所述探測器層是通過從所述引晶層(3、13、23)上的溶液生長所述第一無機-有機鹵化物鈣鈦礦材料而形成的。

14.根據權利要求13所述的輻射探測器，包括：

-按如下順序的襯底(1、11、21)、結構化的多個底部電極(2、12、22)、探測器層(4、14、24)和頂部電極(5、15、25)，其中，在所述底部電極(2、12、22)中的每個上提供所述引晶層(3、13、23)的一部分，或者

-按如下順序的襯底(1、11、21)、結構化的多個電極(2、12、22)和所述探測器層(4、14、24)，其中，在所述電極(2、12、22)中的每個上提供所述引晶層(3、13、23)的一部分，并且所述電極(2、12、22)包括陽極和陰極。