[發明專利]厚度測定裝置在審
| 申請號： | 201680053887.8 | 申請日： | 2016-09-28 |
| 公開（公告）號： | CN108027235A | 公開（公告）日： | 2018-05-11 |
| 發明（設計）人： | 米川榮 | 申請（專利權）人： | 株式會社東芝;東芝基礎設施系統株式會社 |
| 主分類號： | G01B15/02 | 分類號： | G01B15/02 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 龐乃媛 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 厚度 測定 裝置 | ||
1.一種厚度測定裝置，具備：
放射線源，對測定對象物照射放射線；
放射線檢測器，配置于隔著上述測定對象物與上述放射線源對置的位置，對透射了上述測定對象物的放射線進行檢測；
多個A/D轉換器，相對于上述放射線檢測器分別獨立地連接，將來自上述放射線檢測器的輸出信號轉換為數字值；
厚度計算機構，基于上述多個A/D轉換器的數字值對上述測定對象物的厚度進行計算；
異常檢測機構，對上述多個A/D轉換器各自的異常進行檢測；
排除機構，將由上述異常檢測機構檢測到異常的A/D轉換器從上述厚度計算機構的計算對象中排除；以及
控制部，該控制部將上述多個A/D轉換器中的任一個的厚度的測定范圍設定得比其余的A/D轉換器寬，并基于該A/D轉換器的輸出對上述測定對象物的有無進行判定。
2.如權利要求1所述的厚度測定裝置，其中，
上述異常檢測機構為，在對透射了上述測定對象物的放射線進行檢測時的上述A/D轉換器的輸出值的寬度成為了相對于目標值的規定寬度以上時，檢測為異常。
3.如權利要求1所述的厚度測定裝置，其中，
上述異常檢測機構為，基于對透射了上述測定對象物的放射線進行檢測時的上述A/D轉換器的輸出值的中心值，對上述A/D轉換器的異常進行檢測。
4.如權利要求3所述的厚度測定裝置，其中，
上述異常檢測機構為，在對透射了上述測定對象物的放射線進行檢測時的上述A/D轉換器的輸出值的中心值不為相對于目標值的規定寬度時，檢測為異常。
5.如權利要求3所述的厚度測定裝置，其中，
上述異常檢測機構為，在對透射了上述測定對象物的放射線進行檢測時的上述A/D轉換器的輸出值的中心值成為了基于上述多個A/D轉換器的輸出值的中心值的標準偏差的范圍以外時，檢測為異常。
6.如權利要求1至5任一項所述的厚度測定裝置，其中，
上述厚度計算機構，對上述多個A/D轉換器的數字值的平均值進行計算，作為上述測定對象物的厚度。
7.如權利要求1所述的厚度測定裝置，其中，
上述控制部為，在由上述異常檢測機構檢測到上述測定對象物的有無判定用A/D轉換器為異常時，將其他A/D轉換器的厚度的測定范圍變更得比以前寬，并基于變更后的輸出對上述測定對象物的有無進行判定。
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