[發明專利]用機械突起來使膜偏轉以實現致動和觸覺反饋

在審

• 申請號: 201680053207.2
• 申請日: 2016-08-23
• 公開（公告）號: CN108025905A
• 公開（公告）日: 2018-05-11
• 發明（設計）人: R·A·馬丁
• 申請（專利權）人: 高通股份有限公司
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;G06F3/01;H01L41/09;H02N2/04;F03G7/00
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 楊林勳

1.一種微致動器，其包括：

襯底，其耦合到致動部件；以及

其中：

所述襯底的使成波紋狀部分在第一狀態下展開，以形成大體上平面表面，且在第二狀態下沿平行于所述平面表面的維度收縮；

所述致動部件至少部分是剛性的；且

所述微致動器經配置以在所述使成波紋狀部分的狀態改變后，即刻使所述致動部件相對于所述使成波紋狀部分移動。

2.根據權利要求1所述的微致動器，其中所述襯底的至少一層是一體式的，且所述致動部件包含所述層的至少一部分。

3.根據權利要求1所述的微致動器，其中所述襯底包括導電聚合物膜。

4.根據權利要求1所述的微致動器，其進一步包括多個電極，且其中在所述多個電極的電極上施加電力導致所述襯底的所述使成波紋狀部分的狀態改變。

5.根據權利要求1所述的微致動器，其中施加來移動所述致動部件的力取決于所述使成波紋狀部分與所述襯底的對應尺寸的至少一比率。

6.根據權利要求4所述的微致動器，其中所述多個電極中的電極布置在所述襯底上，在所述致動部件的相對側。

7.根據權利要求1所述的微致動器，其中所述致動部件在大體上平行于所述平面表面的方向上移動。

8.根據權利要求1所述的微致動器，其中所述致動部件在兩個點處耦合到所述襯底，且在大體上傾斜或垂直于所述平面表面的方向上延伸。

9.根據權利要求1所述的微致動器，其中所述襯底包含第一層、第二層和第三層；

其中所述襯底經配置以在所述第一層與所述第二層之間施加電壓差時，在所述第一層或所述第二層上感應電荷；且

其中所述第三層安置于所述第一和第二層之間。

10.根據權利要求9所述的微致動器，其中所述第一層或所述第二層經配置以在所述第一層與所述第二層之間施加電荷后即刻延伸或收縮。

11.根據權利要求9所述的微致動器，其中所述第一層分成多個電隔離部分。

12.根據權利要求1所述的微致動器，其中所述襯底的厚度小于三百微米。

13.根據權利要求1所述的微致動器，其中所述微致動器為將處于所述第一狀態或所述第二狀態的所述使成波紋狀部分而偏置。

14.根據權利要求1所述的微致動器，其中所述襯底界定一或多個空隙。

15.一種操作微致動器的方法，其包括：

將電力施加到微致動器，所述微致動器包含耦合到至少部分剛性的致動部件的襯底；

其中在電力的所述施加后，所述襯底的使成波紋狀部分即刻在第一狀態與第二狀態之間改變狀態，在第一狀態下，所述襯底的所述使成波紋狀部分展開，以形成大體上平面表面，且在第二狀態下，所述襯底的所述使成波紋狀部分沿平行于所述平面表面的維度收縮；且

其中所述微致動器經配置以在所述使成波紋狀部分的狀態改變后，即刻使所述致動部件相對于所述使成波紋狀部分移動。

16.根據權利要求15所述的微致動器，其中所述襯底的至少一層是一體式的，且所述致動部件包含所述層的至少一部分。

17.根據權利要求15所述的微致動器，其中所述襯底包括導電聚合物膜。

18.根據權利要求15所述的微致動器，其進一步包括多個電極，且其中在所述多個電極的電極上施加電力導致所述襯底的所述使成波紋狀部分的狀態改變。