[發明專利]SEM影像取得裝置及SEM影像取得方法

有效

• 申請號: 201680052728.6
• 申請日: 2016-09-09
• 公開（公告）號: CN108352283B
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 山藤泉
• 申請（專利權）人: 株式會社和龍
• 主分類號: H01J37/147
• 分類號: H01J37/147;H01J37/22;H01J37/28
• 代理公司: 北京戈程知識產權代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽

1.一種SEM影像取得裝置，其在照射電子束至試料然后檢測從試料放出或反射或被試料吸收的電子來取得影像，該SEM影像取得裝置包括：

掃描信號產生裝置，其產生掃描信號，該掃描信號為使在所述試料上掃描的所述電子束的掃描方向旋轉，且照射到與試料上的同一區域且同一像素對應的該試料上的位置，并且所述掃描信號為用于使時脈的周期相同，或使時脈的周期增大，或使時脈的周期減小，而在既定的旋轉方向依次掃描與試料上的同一區域內的所有像素對應的位置的信號，以使總掃描時間相同，或使總掃描時間增大，或使總掃描時間減小；

偏向裝置，根據所述掃描信號產生裝置所產生的掃描信號而使電子束照射到與試料上的同一區域且同一像素對應的位置；

檢測暨放大裝置，檢測并放大來自于經所述偏向裝置偏向而照射了電子束的試料上的同一區域且同一像素所對應的該試料上的位置的信號；以及

影像產生裝置，根據所述檢測暨放大裝置所檢測出并放大后的信號，產生照射于與試料上的同一區域且同一像素對應的該試料上的位置時的影像。

2.根據權利要求1所述的SEM影像取得裝置，還包括：

根據所述檢測暨放大裝置所檢測出并放大后的信號，將從不同的旋轉方向以電子束掃描試料時之與該試料上的同一區域且同一像素對應的位置的多個影像予以合成的合成裝置。

3.根據權利要求2所述的SEM影像取得裝置，其中，所述合成裝置為分別將相同旋轉方向的多個影像及不同的多個旋轉方向的多個影像予以合成。

4.根據權利要求1所述的SEM影像取得裝置，其中，所述合成裝置用于針對多個取得的影像，依與試料上的同一區域且同一像素對應的位置的各個信號(像素信號)進行合成。

5.根據權利要求2所述的SEM影像取得裝置，其中，所述合成裝置用于針對多個取得的影像，依與試料上的同一區域且同一像素對應的位置的各個信號(像素信號)進行合成。

6.根據權利要求3所述的SEM影像取得裝置，其中，所述合成裝置用于針對多個取得的影像，依與試料上的同一區域且同一像素對應的位置的各個信號(像素信號)進行合成。

7.根據權利要求4至6中任一項所述的SEM影像取得裝置，其中，各個所述信號(像素信號)的合成，為依各個信號(像素信號)進行加總或平均。

8.根據權利要求1至6中任一項所述的SEM影像取得裝置，其中，所述掃描信號產生裝置所產生的掃描信號，用于使要讓電子束的掃描方向旋轉的方向至少為0°、(tan^-11/2)°、45°、(tan^-12)°、90°的方向，以及將上述的角度加減90°的整數倍而得的方向，且為在0°到360°的范圍內或-180°到+180°的范圍內的任一個或多個。

9.一種SEM影像取得方法，為在照射電子束至試料然后檢測從試料放出或反射或被試料吸收的電子來取得影像的SEM影像取得方法，具有：

掃描信號產生步驟，產生掃描信號，該掃描信號使在所述試料上掃描的所述電子束的掃描方向旋轉，且照射到與試料上的同一區域且同一像素對應的該試料上的位置，并且所述掃描信號為用于使時脈的周期相同，或使時脈的周期增大，或使時脈的周期減小，而在既定的旋轉方向依次掃描與試料上的同一區域內的所有像素對應的位置的信號，以使總掃描時間相同，或使總掃描時間增大，或使總掃描時間減小；

偏向步驟，根據所述掃描信號產生步驟所產生的掃描信號而使電子束照射到與試料上的同一區域且同一像素對應的位置；

檢測暨放大步驟，檢測并放大來自于經所述偏向步驟偏向而照射了電子束的試料上的同一區域且同一像素所對應的該試料上的位置的信號；以及

影像產生步驟，根據所述檢測暨放大步驟所檢測出并放大后的信號，產生照射于與試料上的同一區域且同一像素對應的該試料上的位置之時的影像。

10.根據權利要求9所述的SEM影像取得方法，還具有：

合成步驟，根據所述檢測暨放大步驟中檢測出并放大后的信號，將從不同的旋轉方向以電子束掃描試料時之與該試料上的同一區域且同一像素對應的位置的多個影像予以合成。