[發明專利]分束設備

有效

• 申請號: 201680051092.3
• 申請日: 2016-08-03
• 公開（公告）號: CN108351443B
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: G·C·德弗里斯;H-K·尼恩惠斯
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18;G02B27/10;G03F7/20;G02B6/293;H01S3/09
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 張啟程

1.一種分束設備，被布置成接收輸入輻射束并且將所述輸入輻射束分離成多個輸出輻射束；

所述分束設備包括多個反射式衍射光柵，所述多個反射式衍射光柵被布置成接收輻射束且被配置成形成包括多個衍射級的衍射圖案，所述反射式衍射光柵中的至少一些被布置成接收形成于所述反射式衍射光柵中的另一個處的0衍射級；

其中所述反射式衍射光柵被布置成使得每一輸出輻射束的光學路徑包括至多一個作為非0衍射級的衍射級的實例。

2.根據權利要求1所述的分束設備，其中所述輸出輻射束用于供給至多個光刻設備。

3.根據權利要求1或2所述的分束設備，其中所述反射式衍射光柵被配置成使得每個所述輸出輻射束具有基本上相同的功率。

4.根據權利要求1或2所述的分束設備，其中所述分束設備包括：

第一反射式衍射光柵，所述第一反射式衍射光柵被布置成接收所述輸入輻射束且被配置成形成包括多個衍射級的衍射圖案，每個衍射級形成子束，所述子束包括至少第一子束和一第二子束，其中所述第二子束形成第一輸出輻射束；和

第二反射式衍射光柵，所述第二反射式衍射光柵被布置成接收形成于所述第一反射式衍射光柵處的所述第一子束且被配置成形成包括多個衍射級的衍射圖案，每個衍射級形成子束，所述子束包括至少第三子束和第四子束，其中所述第四子束形成第二輸出輻射束。

5.根據權利要求4所述的分束設備，其中所述第一反射式衍射光柵和所述第二反射式衍射光柵被配置成使得所述第一輸出輻射束和所述第二輸出輻射束具有基本上相同的功率。

6.根據權利要求4所述的分束設備，其中所述第一子束是零衍射級。

7.根據權利要求4所述的分束設備，其中所述第三子束是零衍射級。

8.根據權利要求4所述的分束設備，其中所述第一反射式衍射光柵被配置成使得所述第一子束的功率大于所述第二子束的功率。

9.根據權利要求8所述的分束設備，其中所述第一反射式衍射光柵被配置成使得所述第一子束的功率是由所述第一反射式衍射光柵接收的所述輻射束的功率的50％或更多。

10.根據權利要求4所述的分束設備，其中所述第二反射式衍射光柵被配置成使得所述第三子束的功率大于所述第四子束的功率。

11.根據權利要求10所述的分束設備，其中所述第二反射式衍射光柵被配置成使得所述第三子束的功率是由所述第二反射式衍射光柵接收的所述第一子束的功率的50％或更多。

12.根據權利要求4所述的分束設備，其中所述第一反射式衍射光柵還被配置成形成除了所述第一子束和所述第二子束以外的第五子束，且其中所述第五子束形成第三輸出輻射束。

13.根據權利要求12所述的分束設備，其中所述第一反射式衍射光柵被配置成使得所述第三輸出輻射束的功率與所述第一輸出輻射束的功率基本上相同。

14.根據權利要求4所述的分束設備，其中所述第二反射式衍射光柵還被配置成形成除了所述第三子束和所述第四子束以外的第六子束，且其中所述第六子束形成第四輸出輻射束。

15.根據權利要求14所述的分束設備，其中所述第二反射式衍射光柵被配置成使得所述第四輸出輻射束的功率與所述第二輸出輻射束的功率基本上相同。