[發(fā)明專利]復(fù)合傳感器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201680047994.X | 申請(qǐng)日: | 2016-08-08 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN107923750B | 公開(kāi)(公告)日: | 2021-05-07 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 吉田直記;井出次男 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 株式會(huì)社電裝;精工愛(ài)普生株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | G01C19/5628 | 分類號(hào): | G01C19/5628;H01L29/84;H01L41/113;B81B3/00;G01C19/5621;G01P15/08;G01P15/125 |
| 代理公司: | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002 | 代理人: | 樸勇 |
| 地址: | 日本*** | 國(guó)省代碼: | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 復(fù)合 傳感器 | ||
一種復(fù)合傳感器,具備作為對(duì)電路基板(300)的噪聲屏蔽部而發(fā)揮功能的第1屏蔽圖案(91)、作為對(duì)第1傳感器(100)的噪聲屏蔽部而發(fā)揮功能的第2屏蔽圖案(92)、以及作為對(duì)第2傳感器(200)的噪聲屏蔽部而發(fā)揮功能的第3屏蔽圖案(93)。并且,第1屏蔽圖案(91)的阻抗比第2、第3屏蔽圖案(92)、(93)低,將第2屏蔽圖案(92)與第3屏蔽圖案(93)經(jīng)由第1屏蔽圖案(91)電連接。由此,能夠抑制因電噪聲而導(dǎo)致檢測(cè)精度下降。
相關(guān)申請(qǐng)的相互參照
本申請(qǐng)基于2015年8月21日申請(qǐng)的日本申請(qǐng)?zhí)?015-163890號(hào),在此援引其記載內(nèi)容。
技術(shù)領(lǐng)域
本公開(kāi)涉及一種檢測(cè)對(duì)象不同的第1、第2傳感器被搭載在共同的被搭載構(gòu)件上的復(fù)合傳感器。
背景技術(shù)
以往,作為這種復(fù)合傳感器,例如在專利文獻(xiàn)1中提出了將輸出與加速度相應(yīng)的傳感器信號(hào)的加速度傳感器和輸出與角速度相應(yīng)的傳感器信號(hào)的角速度傳感器搭載在共同的被搭載構(gòu)件的一面上的復(fù)合傳感器。
具體地說(shuō),在該復(fù)合傳感器中,加速度傳感器及角速度傳感器均經(jīng)由由導(dǎo)電性構(gòu)件等構(gòu)成的連接構(gòu)件連接到被搭載構(gòu)件的一面上。并且,將角速度傳感器和被搭載構(gòu)件的一面連接的連接構(gòu)件的高度比將加速度傳感器和被搭載構(gòu)件的一面連接的連接構(gòu)件的高度高。另外,角速度傳感器例如是利用了壓電體的壓電效應(yīng)的壓電式,若在使驅(qū)動(dòng)振動(dòng)片振動(dòng)的狀態(tài)下被施加角速度,則輸出與角速度相應(yīng)的傳感器信號(hào)(電荷)。
由此,由于將角速度傳感器與被搭載構(gòu)件連接的連接構(gòu)件的高度比將加速度傳感器與被搭載構(gòu)件連接的連接構(gòu)件的高度高,因此能夠抑制角速度傳感器的振動(dòng)向加速度傳感器傳達(dá)。因此,能夠抑制角速度傳感器的振動(dòng)成為對(duì)加速度傳感器的噪聲(機(jī)械噪聲)。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2014-13207號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容
然而,在這種復(fù)合傳感器中,為了抑制電噪聲對(duì)加速度傳感器及角速度傳感器的影響,存在在被搭載構(gòu)件上形成有維持基準(zhǔn)(接地)電位的屏蔽圖案(Shield pattern)的情況。
但是,在形成屏蔽圖案的情況下,若將對(duì)角速度傳感器的屏蔽圖案和對(duì)加速度傳感器的屏蔽圖案設(shè)為共同的屏蔽圖案,則存在噪聲在各傳感器之間相互干擾的情況,由此檢測(cè)精度下降。
本公開(kāi)的目的在于提供一種能夠抑制因電噪聲而導(dǎo)致檢測(cè)精度下降的復(fù)合傳感器。
根據(jù)本公開(kāi)的第一方式,復(fù)合傳感器具備第1傳感器、第2傳感器、電路基板、被搭載構(gòu)件、第1屏蔽圖案、第2屏蔽圖案及第3屏蔽圖案。第1傳感器輸出與檢測(cè)對(duì)象相應(yīng)的第1傳感器信號(hào)。第2傳感器輸出與不同于第1傳感器的檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè)對(duì)象相應(yīng)的第2傳感器信號(hào)。電路基板與第1、第2傳感器電連接。被搭載構(gòu)件具有一面,在一面上配置第1、第2傳感器及電路基板。第1屏蔽圖案作為對(duì)電路基板的噪聲屏蔽部而發(fā)揮功能。第2屏蔽圖案作為對(duì)第1傳感器的噪聲屏蔽部而發(fā)揮功能。第3屏蔽圖案作為對(duì)第2傳感器的噪聲屏蔽部而發(fā)揮功能。第1屏蔽圖案的阻抗比第2、第3屏蔽圖案低。第2屏蔽圖案與第3屏蔽圖案經(jīng)由第1屏蔽圖案電連接。
由此,第2屏蔽圖案及第3屏蔽圖案經(jīng)由阻抗最低的第1屏蔽圖案連接。因此,能夠抑制施加到第2屏蔽圖案的噪聲向第3屏蔽圖案?jìng)鞑ィ⑶夷軌蛞种票皇┘拥降?屏蔽圖案的噪聲向第2屏蔽圖案?jìng)鞑ァR虼耍軌蛞种齐娫肼曉诘?、第2傳感器之間相互干擾,能夠抑制檢測(cè)精度下降。
附圖說(shuō)明
本公開(kāi)的上述目的及其他目的、特征及優(yōu)點(diǎn)通過(guò)參照附圖進(jìn)行的下述詳細(xì)說(shuō)明將得到進(jìn)一步明確。在附圖中:
圖1是本公開(kāi)的第1實(shí)施方式的復(fù)合傳感器的俯視圖。
圖2是沿著圖1所示的II-II線的剖視圖。
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G01C 測(cè)量距離、水準(zhǔn)或者方位;勘測(cè);導(dǎo)航;陀螺儀;攝影測(cè)量學(xué)或視頻測(cè)量學(xué)
G01C19-00 陀螺儀;使用振動(dòng)部件的轉(zhuǎn)動(dòng)敏感裝置;不帶有運(yùn)動(dòng)部件的轉(zhuǎn)動(dòng)敏感裝置
G01C19-02 .旋轉(zhuǎn)式陀螺儀
G01C19-56 .使用振動(dòng)部件的轉(zhuǎn)動(dòng)敏感裝置,例如基于科里奧利力的振動(dòng)角速度傳感器
G01C19-58 .不帶有運(yùn)動(dòng)部件的轉(zhuǎn)動(dòng)敏感裝置
G01C19-60 ..電子磁共振或核磁共振陀螺測(cè)量?jī)x
G01C19-64 ..利用薩格萘克效應(yīng),即利用逆向旋轉(zhuǎn)的兩電磁束之間旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生位移的陀螺測(cè)量?jī)x





