[發明專利]柔性觸角傳感器及其制造方法

有效

• 申請號: 201680046396.0
• 申請日: 2016-02-04
• 公開（公告）號: CN108139283B
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 金建年;樸洸范;金原孝;郭蓮花
• 申請（專利權）人: 電子部品研究院
• 主分類號: G01L1/22
• 分類號: G01L1/22;H01L21/768
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 金玲

1.一種柔性觸角傳感器，包括：

聚合物層；

第一金屬層，形成于上述聚合物層的上部；

第一傳感器層，包括形成于上述第一金屬層的上部并根據變形改變電阻值的應變儀及連接于上述應變儀的金屬線；

第一粘接層，形成于上述第一傳感器層的上部；

第一覆蓋層，作為聚酯層，保護上述第一傳感器層，通過上述第一粘接層粘接在上述第一傳感器層的上部；

第二金屬層，形成于上述聚合物層的下部；

第二傳感器層，包括形成于上述第二金屬層的下部并根據變形改變電阻值的應變儀及連接于上述應變儀的金屬線；

第二粘接層，形成于上述第二傳感器層的下部；及

第二覆蓋層，作為聚酯層，保護上述第二傳感器層，通過上述第二粘接層粘接在上述第二傳感器層的下部，

第一傳感器層，包括：

輸出第一檢測值的第一應變儀和各連接于上述第一應變儀的一端和另一端的第一金屬線；及

輸出用于修正第一檢測值的第二檢測值的第二應變儀和各連接于上述第二應變儀的一端和另一端的第二金屬線，

第二傳感器層，包括：

輸出第三檢測值的第三應變儀和各連接于上述第三應變儀的一端和另一端的第三金屬線；及

輸出用于修正第三檢測值的第四檢測值的第四應變儀和各連接于上述第四應變儀的一端和另一端的第四金屬線，

上述第一應變儀和上述第二應變儀的應變儀的線寬的長度和線寬之間的間隙的長度各不相同，上述第三應變儀和上述第四應變儀的應變儀的線寬的長度和線寬之間的間隙的長度各不相同，柔性觸角傳感器的彎折線或彎曲線平行于上述第一應變儀、上述第二應變儀、上述第三應變儀及上述第四應變儀的長度方向的軸。

2.根據權利要求1所述的柔性觸角傳感器，其特征在于：上述第一應變儀和上述第二應變儀各自的長度方向的軸和平面的垂直軸形成一定角度。

3.根據權利要求2所述的柔性觸角傳感器，其特征在于：上述第一應變儀和上述第二應變儀相互隔開且各自的長度方向的軸呈“∧”狀。

4.一種觸角傳感器的制造方法，包括：

在聚合物層的上部形成第一金屬層的步驟；

在上述第一金屬層的上部圖案化形成輸出第一檢測值的第一應變儀和輸出用于修正第一檢測值的第二檢測值的第二應變儀的步驟；

圖案化形成連接于上述第一應變儀的第一金屬線和連接于上述第二應變儀的第二金屬線的步驟；

形成用于保護形成于上述第一金屬層的上部的上述第一應變儀及上述第二應變儀和上述第一金屬線及上述第二金屬線的第一覆蓋層的步驟；

在上述聚合物層的下部形成第二金屬層的步驟；

在上述第二金屬層的下部圖案化形成輸出第三檢測值的第三應變儀和輸出用于修正第三檢測值的第四檢測值的第四應變儀的步驟；

圖案化形成連接于上述第三應變儀的第三金屬線和連接于上述第四應變儀的第四金屬線的步驟；及

形成用于保護形成于上述第二金屬層的下部的上述第三應變儀及上述第四應變儀和上述第三金屬線及上述第四金屬線的第二覆蓋層的步驟，

第一粘接層形成于第一傳感器層的上部，上述第一覆蓋層作為聚酯層，通過上述第一粘接層粘接在上述第一傳感器層的上部，第二粘接層形成于第二傳感器層的下部，上述第二覆蓋層作為聚酯層，通過上述第二粘接層粘接在上述第二傳感器層的下部，上述第一應變儀和上述第二應變儀的應變儀的線寬的長度和線寬之間的間隙的長度各不相同，上述第三應變儀和上述第四應變儀的應變儀的線寬的長度和線寬之間的間隙的長度各不相同，柔性觸角傳感器的彎折線或彎曲線平行于上述第一應變儀、上述第二應變儀、上述第三應變儀及上述第四應變儀的長度方向的軸。