[發明專利]分光器

有效

• 申請號: 201680045280.5
• 申請日: 2016-08-04
• 公開（公告）號: CN107923795B
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: 能野隆文;柴山勝己;加藤勝彥
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01J3/18
• 分類號: G01J3/18;G01J3/36;G02B5/18;G02B5/32
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

分光器具備：支撐體，具有設置有包含凹曲面狀的內面的凹部以及與凹部相鄰接的周邊部的底壁部、相對于底壁部被配置于凹部開口的一側的側壁部；光檢測元件，以與凹部相對的狀態被支撐于側壁部；分光部，被配置于凹部的內面上。在從凹部和光檢測元件互相相對的第1方向觀察的情況下，構成分光部的多個光柵槽排列的第2方向上的凹部的長度大于垂直于第2方向的第3方向上的凹部的長度。在從第1方向觀察的情況下，在第2方向上與凹部相鄰接的周邊部的面積大于在第3方向上與凹部相鄰接的周邊部的面積。

技術領域

本發明涉及對光進行分光并進行檢測的分光器。

背景技術

已知有具備凹部被設置于內側的箱形的支撐體、被安裝于支撐體的開口部的光檢測元件、以覆蓋支撐體的凹部的方式被配置的樹脂層、被設置于樹脂層的分光部的分光器(例如參照專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻1：日本特開2010-256670號公報

發明內容

發明所要解決的技術問題

對于如上述那樣的分光器來說對應于用途的擴大而要求更加小型化、特別是薄型化。但是，分光器越是被薄型化則雜散光的影響相對越是變大，由此，分光器的檢測精度降低的擔憂增加。

因此，本發明的一個方式的目的在于，提供一種既能夠抑制檢測精度的降低又能夠謀求薄型化的分光器。

解決問題的技術手段

本發明的一個方式所涉及的分光器具備：支撐體，具有設置有包含凹曲面狀的內面的凹部以及與凹部相鄰接的周邊部的底壁部、相對于底壁部被配置于凹部進行開口的一側的側壁部；光檢測元件，以與凹部相對的狀態被支撐于側壁部；分光部，被配置于凹部的內面上；在從凹部和光檢測元件互相相對的第1方向觀察的情況下，構成分光部的多個光柵槽排列的第2方向上的凹部的長度大于垂直于第2方向的第3方向上的凹部的長度，在從第1方向觀察的情況下，在第2方向上與凹部相鄰接的周邊部的面積大于在第3方向上與凹部相鄰接的周邊部的面積。

在該分光器中，分光部被配置于在支撐體的底壁部設置的凹部的內面上，光檢測元件以與凹部相對的狀態被支撐于支撐體的側壁部。由這樣的結構，能夠謀求分光器的小型化。特別是在從凹部和光檢測元件互相相對的第1方向觀察的情況下，因為構成分光部的多個光柵槽進行排列的第2方向上的凹部的長度大于垂直于第2方向的第3方向上的凹部的長度，并且在第2方向上與凹部相鄰接的周邊部的面積大于在第3方向上與凹部相鄰接的周邊部的面積，所以能夠在第3方向上將分光器薄型化。另外，即使在分光部上被分光并且被反射的光在光檢測元件上被反射，通過使該光入射到在第2方向上與凹部相鄰接的周邊部從而也能夠抑制該光成為雜散光。因此，根據該分光器，能夠既抑制檢測精度的降低又謀求薄型化。

在本發明的一個方式所涉及的分光器中，側壁部也可以在從第1方向觀察的情況下具有包圍凹部以及周邊部的環狀的形狀。由此，能夠更加可靠地抑制分光部的特性發生劣化。

在本發明的一個方式所涉及的分光器中，周邊部也可以包含越是從凹部分開越是從光檢測元件分開的傾斜面。由此，即使在分光部上被分光并且被反射的光在光檢測元件上被反射，通過使該光入射到周邊部的傾斜面從而也能夠更加可靠地抑制該光成為雜散光。

在本發明的一個方式所涉及的分光器中，也可以是在從第1方向觀察的情況下分光部相對于凹部的中心偏向于第2方向上的一側，在從第1方向觀察的情況下相對于凹部位于第2方向上的一側的周邊部的面積大于相對于凹部位于第2方向上的另一側的周邊部的面積。由此，即使在分光部上被分光并且被反射的光在光檢測元件上被反射，通過使該光入射到相對于凹部位于第2方向上的一側的周邊部從而也能夠更加可靠地抑制該光成為雜散光。