[發明專利]亞微米晶片對準

有效

• 申請號: 201680042862.8
• 申請日: 2016-06-23
• 公開（公告）號: CN107850761B
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: T·G·格奧爾基耶夫
• 申請（專利權）人: 高通股份有限公司
• 主分類號: G02B13/00
• 分類號: G02B13/00;G01M11/00;G02B27/10;G02B27/14;G02B27/62
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 楊林勳

1.一種光學晶片堆疊，其包括：

第一透明晶片，其包含至少一第一透鏡；

第二透明晶片，其包含至少一第二透鏡；

第一隔片晶片，其定位于所述第一透明晶片與所述第二透明晶片之間且包含包括在第一開口周圍的第一周邊的至少一第一單元，所述第一透鏡及所述第二透鏡至少部分地突出到所述第一開口中；

第一對準標記，其提供于所述第一透明晶片上；

第二對準標記，其提供于所述第二透明晶片上；及

第一光束分光器層，其在所述第一對準標記與所述第二對準標記之間的光學路徑之間的中點處安置于所述第一隔片晶片的表面上。

2.根據權利要求1所述的光學晶片堆疊，其中所述光束分光器層正交于所述第一對準標記與所述第二對準標記之間的所述光學路徑而定位。

3.根據權利要求1所述的光學晶片堆疊，其中所述第一透鏡、所述第二透鏡及所述第一周邊形成具有光軸的透鏡堆疊。

4.根據權利要求3所述的光學晶片堆疊，其中，當所述第一對準標記根據從上而下觀察而與所述第二對準標記對準時，所述第一透鏡的中心及所述第二透鏡的中心與所述透鏡堆疊的所述光軸在2微米的容限內對準。

5.根據權利要求3所述的光學晶片堆疊，其中，當所述第一對準標記根據從上而下觀察而與所述第二對準標記對準時，所述第一透鏡的中心及所述第二透鏡的中心與所述透鏡堆疊的所述光軸在1微米的容限內對準。

6.根據權利要求3所述的光學晶片堆疊，其中，所述第一對準標記包括第一組重復標記，且其中所述第二對準標記包括與所述第一組重復標記互補的第二組重復標記。

7.根據權利要求6所述的光學晶片堆疊，其中，當所述第一對準標記根據從上而下觀察而與所述第二對準標記對準時，所述第一透鏡的中心及所述第二透鏡的中心與所述透鏡堆疊的所述光軸在250nm的容限內對準。

8.根據權利要求6所述的光學晶片堆疊，其中所述第一組重復標記及所述第二組重復標記包括具有5μm的線厚度的同心環帶。

9.根據權利要求1所述的光學晶片堆疊，其進一步包括：

第三透明晶片，其包含至少一第三透鏡；

第二隔片晶片，其定位于所述第二透明晶片與所述第三透明晶片之間且包含至少一第二開口，所述第二透鏡及所述第三透鏡至少部分地突出到所述第二開口中；

第三對準標記，其提供于所述第三透明晶片上；及

第二光束分光器層，其在所述第二對準標記與所述第三對準標記之間的光學路徑之間的中點處安置于所述第二隔片晶片的表面上。

10.根據權利要求1所述的光學晶片堆疊，其進一步包括：

第三透明晶片，其包含至少一第三透鏡；

第二隔片晶片，其定位于所述第二透明晶片與所述第三透明晶片之間且包含至少一第二開口，所述第二透鏡及所述第三透鏡至少部分地突出到所述第二開口中；

第三對準標記，其提供于所述第三透明晶片上；

第四對準標記，其提供于所述第二透明晶片上；及

第二光束分光器層，其在所述第三對準標記與所述第四對準標記之間的光學路徑之間的中點處安置于所述第二隔片晶片的表面上。

11.一種對準透明晶片的方法，其包括：

將第一對準標記安置于第一透明晶片上；

將第二對準標記安置于第二透明晶片上；

將光束分光器層安置于所述第一對準標記與所述第二對準標記之間的光學中點處；

使顯微鏡物鏡聚焦于所述第二對準標記上；

檢視所述第二對準標記以及經由所述光束分光器層的所述第一對準標記的反射；及

使用通過所述顯微鏡物鏡所檢視的所述第一對準標記與所述第二對準標記的重疊而將所述第一透明晶片對準到所述第二透明晶片。