[發明專利]用于形成在激光系統或其它系統以及相關聯的設備中使用的波導的技術

有效

• 申請號: 201680038672.9
• 申請日: 2016-07-01
• 公開（公告）號: CN107787538B
• 公開（公告）日: 2019-11-15
• 發明（設計）人: R.扎穆迪奧;M.莫哈格
• 申請（專利權）人: 雷神公司
• 主分類號: H01S3/042
• 分類號: H01S3/042;H01S3/16;G02B6/122;G02B6/42;C23C14/35;H01S3/063;H01S3/23;C23C14/34;G02B6/132
• 代理公司: 72001 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 周學斌;閆小龍<國際申請>=PCT/US

1.一種用于形成光學波導的方法，包括：

形成覆蓋第一傳導襯底的至少一部分的第一涂層，其中所述第一傳導襯底被配置為輸運熱能，所述第一涂層是被配置成給所述第一傳導襯底提供保護并且向所述第一傳導襯底輸運熱能的硬涂層；

形成覆蓋第二傳導襯底的至少一部分的第二涂層，其中所述第二傳導襯底被配置為輸運熱能，所述第二涂層是被配置成給所述第二傳導襯底提供保護并且向所述第二傳導襯底輸運熱能的硬涂層；

在所述第一涂層和所述第二涂層中的一個上形成所述光學波導的至少一部分；以及

將所述光學波導的所述至少一部分要么附連到在所述第一涂層和所述第二涂層中的另一個上所形成的所述光學波導的另一部分，要么附連到所述第一涂層和所述第二涂層中的另一個；

該光學波導包括多個包覆層和核心，該光學波導被配置為輸運光學信號；

其中該第一傳導襯底和所述第二傳導襯底、該第一涂層和所述第二涂層和該光學波導形成集成的單片式波導結構。

2.權利要求1所述的方法，包括：

在所述第一涂層上形成所述光學波導的第一部分；

在所述第二涂層上形成所述光學波導的第二部分；以及

附連所述光學波導的所述第一部分和所述第二部分。

3.權利要求2所述的方法，其中：

所述光學波導的所述第一部分包括包覆層中的第一包覆層和核心；

所述光學波導的所述第二部分包括包覆層中的第二包覆層；并且

附連所述光學波導的所述第一部分和所述第二部分包括將所述第二包覆層附連到所述核心。

4.權利要求3所述的方法，其中將所述第二包覆層附連到所述核心包括使用擴散接合過程將所述第二包覆層附連到所述核心。

5.權利要求1所述的方法，其中：

形成所述光學波導的至少一部分包括在所述第二涂層上形成所述光學波導；以及

附連所述光學波導的所述至少一部分包括將在所述第二涂層上形成的所述光學波導附連到所述第一涂層。

6.權利要求1所述的方法，其中形成光學波導的至少一部分包括：

通過執行重復的沉積以形成所述核心的多個核心層來形成所述光學波導的核心。

7.權利要求6所述的方法，其中在沉積一個或多個附加核心層之前，暫停所述多個核心層的沉積以使得一個或多個附加操作能夠發生在一個或多個現有核心層上。

8.權利要求7所述的方法，其中所述一個或多個附加操作包括所述一個或多個現有核心層的拋光。

9.權利要求6所述的方法，其中執行重復的沉積包括使用以下中的至少一項：射頻磁控濺射技術、激光輔助離子濺射技術、分子束外延技術和溶膠-凝膠技術。

10.權利要求6所述的方法，其中執行重復的沉積包括執行摻雜固態增益材料的重復沉積。

11.一種光學波導裝置，包括：

被配置為輸運熱能的第一傳導襯底；

覆蓋所述第一傳導襯底的至少一部分的第一涂層，其中所述第一涂層是被配置成給所述第一傳導襯底提供保護并且向所述第一傳導襯底輸運熱能的硬涂層；

被配置為輸運熱能的第二傳導襯底；

覆蓋所述第二傳導襯底的至少一部分的第二涂層，其中所述第二涂層是被配置成給所述第二傳導襯底提供保護并且向所述第二傳導襯底輸運熱能的硬涂層；以及

附連到所述第一涂層和所述第二涂層的光學波導，所述光學波導包括多個包覆層和核心，所述光學波導被配置為輸運光學信號；

其中所述第一傳導襯底和所述第二傳導襯底、所述第一涂層和所述第二涂層和所述光學波導形成集成的單片式波導結構。

12.權利要求11所述的裝置，其中所述第一涂層和所述第二涂層被配置為向所述傳導襯底提供由光學波導生成的熱能。