[發(fā)明專利]定向耦合器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201680038661.0 | 申請(qǐng)日： | 2016-06-30 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN107851875B | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-11-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | A·格雷德;A·阿爾特;D·格呂納;N·施維格;C·旺格勒 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 通快許廷格兩合公司 |
| 主分類號(hào)： | H01P5/18 | 分類號(hào)： | H01P5/18 |
| 代理公司： | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德國(guó)*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 定向耦合器 | ||
一種定向耦合器(1)，所述定向耦合器至少部分地構(gòu)造在尤其多層式印刷電路板(2)中，所述定向耦合器具有用于傳輸功率的主線路(3)并且具有至少一個(gè)輔助線路(6，7)，所述至少一個(gè)輔助線路在具有耦合區(qū)段(4，5)的耦合區(qū)域中與所述主線路(3)平行地并且間隔開(kāi)地布置，其中，在所述耦合區(qū)域中，所述主線路(3)和/或所述至少一個(gè)輔助線路(6，7)布置在所述印刷電路板(2)的內(nèi)部中，其特征在于，設(shè)有m個(gè)第一附加耦合線路(12?15)，m≥1，所述第一附加耦合線路具有耦合區(qū)段(8?11)，所述耦合區(qū)段與所述至少一個(gè)輔助線路(6，7)的耦合區(qū)段(4，5)平行地并且間隔開(kāi)地延伸，其中，所述第一附加耦合線路(12?15)具有連接端(16?19)，所述連接端布置在所述印刷電路板(2)的外側(cè)上用于與接地或外部布線連接。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種定向耦合器，其至少部分地構(gòu)造在尤其多層式印刷電路板中。
此外，本發(fā)明涉及一種用于調(diào)諧定向耦合器的方法。
背景技術(shù)
定向耦合器例如由文獻(xiàn)US2005/0017821 A1已知。
高頻發(fā)電機(jī)用于產(chǎn)生高頻功率并且將高頻功率提供給負(fù)載。作為負(fù)載例如考慮等離子體工藝，如等離子體涂層和等離子體刻蝕或者激光工藝(激光激勵(lì))。因?yàn)樨?fù)載的阻抗可以變化并且因此在失配時(shí)可能發(fā)生由高頻發(fā)電機(jī)提供的功率的(部分)反射，所以經(jīng)常在負(fù)載(等離子體)中不是吸收由高頻發(fā)電機(jī)提供的全部功率。為了可以準(zhǔn)確地調(diào)整或調(diào)節(jié)提供到負(fù)載中的高頻功率，值得期望的是，確定在負(fù)載中吸收的功率。
已知的是，為了測(cè)量/確定在負(fù)載中吸收的高頻功率，應(yīng)用定向耦合器，其中，被吸收的高頻功率由通過(guò)高頻發(fā)電機(jī)產(chǎn)生的功率與反射的功率的差產(chǎn)生。由此可能的是，如此調(diào)節(jié)高頻發(fā)電機(jī)，使得可以高度準(zhǔn)確地調(diào)整在負(fù)載中吸收的功率以及將其保持不變。
為了不僅可以檢測(cè)朝負(fù)載方向提供的高頻功率而且可以檢測(cè)反射的功率，已知的是，應(yīng)用定向耦合器，所述定向耦合器除了主線路之外還具有兩個(gè)輔助線路，通過(guò)主線路可以朝負(fù)載的方向發(fā)送高頻功率。通過(guò)一個(gè)輔助線路在此可以測(cè)量朝負(fù)載方向提供的功率，而通過(guò)另一輔助線路可以測(cè)量反射的功率。基于高頻功率的通過(guò)主線路的提供來(lái)產(chǎn)生電磁場(chǎng)，該電磁場(chǎng)耦合到輔助線路上，從而在輔助線路上可以檢測(cè)到如下測(cè)量信號(hào)，該測(cè)量信號(hào)與在主線路上的功率具有關(guān)系。
借助術(shù)語(yǔ)方向銳度(directivity：指向性)描述測(cè)量的質(zhì)量。目標(biāo)是，在一個(gè)輔助線路上盡可能僅僅探測(cè)朝負(fù)載方向提供的功率部分，而借助另一輔助線路盡可能僅僅探測(cè)反射的功率部分。然而這在實(shí)踐中沒(méi)有完全實(shí)現(xiàn)。這表示：借助所述一個(gè)輔助線路——借助該輔助線路僅僅應(yīng)探測(cè)朝負(fù)載方向提供的功率——也總是探測(cè)反射的功率的小部分。借助方向銳度表示所期望的信號(hào)的功率探測(cè)與所不期望的信號(hào)的功率探測(cè)的比例。方向銳度應(yīng)盡可能大。
經(jīng)常在印刷電路板上實(shí)現(xiàn)定向耦合器。然而，這樣的定向耦合器經(jīng)受制造波動(dòng)，所述制造波動(dòng)的影響僅僅在制造之后借助功能的檢查表現(xiàn)出來(lái)。如果在多層式印刷電路板定向耦合器中耦合結(jié)構(gòu)位于內(nèi)層上，則耦合結(jié)構(gòu)的幾何結(jié)構(gòu)可以事后不再例如通過(guò)激光微調(diào)來(lái)匹配。因此，必須容忍公差，這導(dǎo)致測(cè)量的較小的動(dòng)態(tài)性。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的任務(wù)是，如此擴(kuò)展定向耦合器，使得可以反作用于制造公差的影響或者可以均衡這些影響。
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