[發(fā)明專(zhuān)利]晶錠切割裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201680033266.3
• 申請(qǐng)日: 2016-01-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107708949A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-02-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 全志原
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 愛(ài)思開(kāi)矽得榮株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): B28D5/04
• 分類(lèi)號(hào): B28D5/04;B28D5/00
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司31100
• 代理人: 朱立鳴

1.一種晶錠切片裝置，其特征在于，包括：

晶錠供給裝置，所述晶錠供給裝置被設(shè)置成供給晶錠并能在第一方向上移動(dòng)；

切片裝置，所述切片裝置被設(shè)置成能在與所述第一方向交叉的第二方向上移動(dòng)，并對(duì)所述晶錠進(jìn)行切片；

漿料供給單元，所述漿料供給單元被設(shè)置成將漿料供給到所述切片裝置；以及

空氣供給單元，所述空氣供給單元用于將空氣供給到所述切片裝置。

2.如權(quán)利要求1所述的晶錠切片裝置，其特征在于，所述空氣供給單元設(shè)置在所述漿料供給單元與所述晶錠之間。

3.如權(quán)利要求2所述的晶錠切片裝置，其特征在于，設(shè)置有至少一個(gè)或多個(gè)的空氣供給單元。

4.如權(quán)利要求1所述的晶錠切片裝置，其特征在于，所述空氣供給單元包括：

空氣流入軟管，所述空氣流入軟管用于提供流路，所述流路用于將空氣從外部引導(dǎo)至所述空氣供給單元的內(nèi)部；以及

空氣排出端口，所述空氣排出端口用于將被引入所述空氣供給單元的空氣沿預(yù)定的方向排出。

5.如權(quán)利要求4所述的晶錠切片裝置，其特征在于，從所述空氣排出端口排出的空氣與所述切片裝置之間的角度為90°或以下。

6.如權(quán)利要求4所述的晶錠切片裝置，其特征在于，至少一個(gè)或多個(gè)空氣供給單元被設(shè)置成沿著所述空氣排出端口延伸。

7.如權(quán)利要求1所述的晶錠切片裝置，其特征在于，還包括空氣供給單元控制單元，以控制所述空氣供給單元，其中，所述空氣供給單元控制單元被設(shè)置成根據(jù)所述晶錠供給裝置的位置來(lái)改變每小時(shí)從所述空氣供給單元排出的空氣供給量。

8.如權(quán)利要求7所述的晶錠切片裝置，其特征在于，所述空氣供給單元控制單元被設(shè)置成，隨著所述切片裝置與所述晶錠相摩擦處的截面積變窄而增加每小時(shí)從所述空氣供給單元排出的空氣供給量。

9.如權(quán)利要求7所述的晶錠切片裝置，其特征在于，所述空氣供給單元控制單元被設(shè)置成隨著所述切片裝置與所述晶錠相摩擦處的截面積變寬而減少每小時(shí)從所述空氣供給單元排出的空氣供給量。

10.如權(quán)利要求1所述的晶錠切片裝置，其特征在于，包括空氣供給單元控制單元，所述空氣供給單元控制單元用于控制所述空氣供給單元，其中，所述空氣供給單元控制單元被設(shè)置成根據(jù)所述晶錠供給裝置的位置來(lái)改變從所述空氣供給單元排出的空氣的溫度。

11.如權(quán)利要求10所述的晶錠切片裝置，其特征在于，所述空氣供給單元控制單元被設(shè)置成隨著所述切片裝置與所述晶錠相摩擦處的截面積變窄而增加從所述空氣供給單元排出的空氣的溫度。

12.如權(quán)利要求10所述的晶錠切片裝置，其特征在于，所述空氣供給單元控制單元被設(shè)置成隨著所述切片裝置與所述晶錠相摩擦處的截面積變寬而降低從所述空氣供給單元排出的空氣的溫度。

13.如權(quán)利要求1所述的晶錠切片裝置，其特征在于，包括空氣供給單元控制單元，所述空氣供給單元控制單元用于控制所述空氣供給單元，其中，所述空氣供給單元控制單元被設(shè)置成改變從所述空氣供給單元排出的空氣的方向。

14.如權(quán)利要求13所述的晶錠切片裝置，其特征在于，所述空氣供給單元被設(shè)置成通過(guò)所述空氣供給單元控制單元而能樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)。

15.一種晶錠切片裝置，其特征在于，包括：

晶錠供給裝置，所述晶錠供給裝置被設(shè)置成供給晶錠并能在第一方向上移動(dòng)；

切片裝置，所述切片裝置被設(shè)置成能在與所述第一方向交叉的第二方向上移動(dòng)，并對(duì)所述晶錠進(jìn)行切片；

漿料供給單元，所述漿料供給單元被設(shè)置成將漿料供給到所述切片裝置；以及

空氣供給單元，所述空氣供給單元用于將空氣供給到所述切片裝置，其中，所述空氣供給單元包括：空氣流入軟管，所述空氣流入軟管用于提供流路，所述流路用于將空氣從外部引導(dǎo)至所述空氣供給單元的內(nèi)部；以及空氣排出端口，所述空氣排出端口用于將被引入所述空氣供給單元的空氣沿預(yù)定的方向排出。

16.如權(quán)利要求15所述的晶錠切片裝置，其特征在于，從所述空氣排出端口排出的空氣與所述切片裝置之間的角度為90°或以下。