[發明專利]脈沖光束的光譜特征量測

有效

• 申請號: 201680029516.6
• 申請日: 2016-05-12
• 公開（公告）號: CN107615020B
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: J·J·索內斯
• 申請（專利權）人: 西默有限公司
• 主分類號: G01J1/42
• 分類號: G01J1/42;G01J3/28;G01J11/00;G03F7/20
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華

1.一種用于測量脈沖光束的光譜特征的量測系統，其中所述光譜特征是所述脈沖光束的光譜的方面，所述量測系統包括：

單個標準具，在所述脈沖光束的路徑中并且被配置為與所述脈沖光束相互作用并輸出對應于所述脈沖光束的光譜分量的多個空間分量的一組同心環的形狀的干涉圖案，其中所述單個標準具包括彼此面對并且分隔開恒定距離的單個對的平行反射表面；

多個傳感器，接收并感測所述干涉圖案，其中所述多個傳感器中的每個傳感器被設置為沿著不同的感測軸線跨多個環延伸并且僅與所述干涉圖案的一部分相互作用；以及

控制系統，被連接到每個傳感器的輸出并被配置為：

針對每個傳感器的輸出，測量來自所述標準具針對一個或多個脈沖的所輸出的空間分量的屬性；

分析所測量的屬性，包括對所測量的屬性進行平均以計算所述脈沖光束的所述光譜特征的估計；以及

確定所述脈沖光束的所估計的光譜特征是否在光譜特征值的可接受范圍內。

2.根據權利要求1所述的系統，進一步包括在所述光束的路徑中的分束器，其中所述分束器：

將第一百分比的所述光束引導朝向所述標準具，并且

將第二百分比的所述光束沿所述光束的路徑引導。

3.根據權利要求1所述的系統，其中每個傳感器具有與所述多個傳感器中的其他傳感器相同的性能參數。

4.根據權利要求1所述的系統，其中所述光譜特征是所述脈沖光束的帶寬。

5.根據權利要求1所述的系統，還包括光學連接到所述脈沖光束的光譜特征選擇系統，其中：

所述控制系統被連接到所述光譜特征選擇系統；并且

如果所述控制系統確定所述脈沖光束的所估計的光譜特征在所述可接受范圍之外，則所述控制系統被配置為向所述光譜特征選擇系統發送調整信號，以修改所述脈沖光束的所述光譜特征。

6.根據權利要求1所述的系統，其中一個或多個脈沖的范圍是單個脈沖。

7.根據權利要求1所述的系統，其中對所測量的屬性進行平均包括確定所測量的屬性中的哪一個是所述光譜特征的最準確表示，并且計算所述脈沖光束的所述光譜特征包括選擇最準確地表示所述光譜特征的所測量的屬性。

8.根據權利要求1所述的系統，其中：

所述控制系統被配置為確定所測量的屬性中的哪些落入目標值范圍內，并且

通過對僅落在所述目標值范圍內的那些所測量的屬性進行平均，所述控制系統對所測量的屬性進行平均來計算估計。

9.根據權利要求1所述的系統，其中對所測量的屬性進行平均包括對所測量的屬性執行加權平均，并且計算所述脈沖光束的所述光譜特征的所述估計包括選擇所述加權平均作為所述光譜特征估計。

10.根據權利要求1所述的系統，其中每個傳感器是接收一個或多個整體光譜分量的單個傳感器的一部分。

11.根據權利要求1所述的系統，其中所述多個傳感器中的每一個傳感器定義垂直于所輸出的空間分量的方向的感測軸線。

12.根據權利要求1所述的系統，其中所述多個傳感器中的每一個傳感器形成在單個傳感器的不同位置處，所述單個傳感器被放置在所述標準具的輸出處。

13.根據權利要求1所述的系統，其中彼此面對的單個對的平行反射表面形成在一對光學平面上。

14.根據權利要求1所述的系統，其中彼此面對的所述單個對的平行反射表面形成在單個板上。