[發明專利]真空泵系統

在審

• 申請號: 201680025077.1
• 申請日: 2016-06-20
• 公開（公告）號: CN107850062A
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發明（設計）人: 托馬斯·德賴費特;羅蘭·穆勒;馬克斯·佩利坎;德克·席勒;丹尼爾·施奈登巴赫;德克·施特拉特曼
• 申請（專利權）人: 萊寶有限公司
• 主分類號: F04B37/14
• 分類號: F04B37/14;F04B41/06;F04B49/06;F04C23/00;F04C25/02;F04C28/02;F04C28/06
• 代理公司: 北京鴻德海業知識產權代理事務所(普通合伙)11412
• 代理人: 袁媛

1.一種真空泵系統(4、5、6)，其具有多個彼此并聯連接并且各自在入口側與腔室(40、50、60)連接的真空泵(P41、P42、P43、P44、P45、P51、P52、P61、P62)，其具有與所述真空泵(P41、P42、P43、P44、P45、P51、P52、P61、P62)的出口側連接的出口管線(41、51、61)，以及連接至少一個真空泵(P41、P42、P43、P44、P45、P51、P52、P61、P62)的所述入口側與所述出口管線(41)的中間管線(42、52)，

其特征在于，

在抽出時期所有真空泵(P41、P42、P43、P44、P45、P51、P52、P61、P62)為并聯連接，并且在空閑時期所述真空泵(P41、P42、P43、P44、P45、P51、P52、P61、P62)的至少一個的所述入口側與剩余的真空泵的所述出口側連接作為前級泵。

2.根據權利要求1所述的真空泵系統，其特征在于，在空閑時期，其入口側與剩余的真空泵的所述出口側連接的所述真空泵與所述其他的真空泵串聯連接。

3.根據權利要求1或2所述的真空泵系統，其特征在于，所述真空泵的所述出口側通過止回閥(CV41、CV42、CV43、CV44、CV45、CV51、CV61)與所述出口管線(41、51、61)連接。

4.根據權利要求1至3中任一權項所述的真空泵系統，其特征在于，閥門(V41、V42、V43、V44、V45、V52)布置在每個所述真空泵(P41、P42、P43、P44、P45、P51、P52、P61、P62)之前，并且特別地，另外的閥門(V46、V51、V61)在所述中間管線(42)中布置，用于控制單個真空泵(P41、P42、P43、P44、P45)彼此并聯連接或者串聯連接。

5.根據權利要求1至4中任一權項所述的真空泵系統，其特征在于，在空閑狀態中其入口側與所述剩余的真空泵的所述出口側連接的至少一個所述真空泵，并且特別的與其他的真空泵串聯連接的真空泵的尺寸小于所述其他的真空泵。