[發明專利]SO3分析方法和分析裝置

有效

• 申請號: 201680020110.1
• 申請日: 2016-03-29
• 公開（公告）號: CN107430068B
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 登倉明雄;忠永修;牟田研二;藤井秀治;津村陽一郎;西宮立享
• 申請（專利權）人: 日本電信電話株式會社;三菱重工業株式會社
• 主分類號: G01N21/3504
• 分類號: G01N21/3504
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 蔣亭

1.一種SO₃分析裝置，其特征在于，具備：

照射機構，對未進行除塵處理、除濕處理、減壓處理中的任一者的包含SO₃、CO₂和H₂O的廢氣照射激光；

光接收機構，接收對所述廢氣照射并透過了該廢氣的激光；

波長控制機構，將所述照射機構所照射的所述激光的波長控制為4.093μm～4.098μm、4.1045μm～4.1065μm、4.110μm～4.115μm、4.117μm～4.126μm或4.131μm～4.132μm帶域的SO₃的吸收波長；以及

SO₃濃度演算機構，利用紅外分光法演算所述廢氣中的SO₃濃度，

其中所述波長控制機構對所述激光的波長進行控制，并且將具有所述照射機構所照射的所述激光的波長信息的波長控制信號發送至所述SO₃濃度演算機構，

所述SO₃濃度演算機構基于由所述波長控制機構發送的所述波長控制信號、和由所述光接收機構得到的光接收信號來演算所述廢氣中的SO₃濃度。

2.根據權利要求1所述的SO₃分析裝置，其特征在于，

所述照射機構包含非線性光學晶體，基于波長λ₁的激光和波長λ₂的激光的輸入所產生的差頻來產生滿足1/λ₃＝1/λ₁-1/λ₂的波長λ₃的激光，并輸出該波長λ₃的激光。

3.根據權利要求1或2所述的SO₃分析裝置，其特征在于，

具備測量所述廢氣的溫度的溫度測量機構，

所述SO₃濃度演算機構還使用所述溫度測量機構所測量的所述廢氣的溫度利用紅外分光法演算SO₃濃度。

4.根據權利要求1或2所述的SO₃分析裝置，其特征在于，

具備測量所述廢氣的壓力的壓力測量機構，

所述SO₃濃度演算機構還使用以所述壓力測量機構測量的所述廢氣的壓力利用紅外分光法演算SO₃濃度。

5.根據權利要求1或2所述的SO₃分析裝置，其特征在于，具備：

H₂O濃度測量機構，對所述廢氣中的H₂O濃度進行測量；和

H₂SO₄濃度演算機構，通過采用利用所述SO₃濃度演算機構計算出的SO₃濃度和該H₂O濃度測量機構所測量的H₂O濃度的平衡計算，演算H₂SO₄濃度。

6.根據權利要求1或2所述的SO₃分析裝置，其特征在于，

具備抽出所述廢氣的抽出機構，

所述照射機構對所述抽出機構所抽出的所述廢氣照射所述激光。

7.根據權利要求6所述的SO₃分析裝置，其特征在于，

具備對利用所述抽出機構所抽出的所述廢氣進行加熱的加熱機構。

8.一種SO₃分析方法，其特征在于，

利用照射機構對未進行除塵處理、除濕處理、減壓處理中的任一者的包含SO₃、CO₂和H₂O的廢氣照射利用波長控制機構將波長控制為4.093μm～4.098μm、4.1045μm～4.1065μm、4.110μm～4.115μm、4.117μm～4.126μm或4.131μm～4.132μm的激光；

利用光接收機構接收對所述廢氣照射的所述激光；

所述波長控制機構對所述激光的波長進行控制，并且發送具有所述照射機構所照射的所述激光的波長信息的波長控制信號；以及

基于由所述波長控制機構發送的所述波長控制信號、和由所述光接收機構得到的光接收信號，利用紅外分光法演算所述廢氣中的SO₃濃度。