[發(fā)明專利]導(dǎo)電結(jié)構(gòu)體及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201680017412.3 | 申請日: | 2016-08-11 |
| 公開(公告)號: | CN107371363B | 公開(公告)日: | 2019-08-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 尹晶煥;宋斗勛;章盛晧;樸鎮(zhèn)宇;金起煥 | 申請(專利權(quán))人: | 株式會社LG化學(xué) |
| 主分類號: | B32B15/01 | 分類號: | B32B15/01;G06F3/041 |
| 代理公司: | 北京鴻元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327 | 代理人: | 王楠楠;李靜 |
| 地址: | 韓國*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 導(dǎo)電 結(jié)構(gòu) 及其 制備 方法 | ||
1.一種導(dǎo)電結(jié)構(gòu)體,包括:
基板;
設(shè)置在所述基板上的金屬層;以及
設(shè)置在所述金屬層上并且包含銅-錳-鎳氧化物的減光反射層,
其中,所述減光反射層中的銅含量為28原子%至46原子%,錳含量為3原子%至12原子%,鎳含量為17原子%至24原子%,氧含量為18原子%至52原子%,并且
所述減光反射層中的所述氧含量與所述銅含量、錳含量、鎳含量和氧含量的總和的比為0.18至0.52。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)體,其中,在波長范圍為380nm至780nm的光中,所述減光反射層的消光系數(shù)k為0.6以上且為1.4以下。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)體,其中,在波長范圍為380nm至780nm的光中,所述減光反射層的折射率n為1.7以上且為2.8以下。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)體,其中,所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)體的總反射率為40%以下。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)體,其中,所述減光反射層的厚度為0.1nm至400nm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)體,其中,所述減光反射層的厚度為0.1nm至100nm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)體,其中,所述金屬層的厚度為0.01μm至10μm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)體,其中,所述金屬層是圖案化的金屬圖案層,所述減光反射層是圖案化的減光反射圖案層。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)體,其中,所述金屬圖案層的線寬為10μm以下。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)體,其中,所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)體的表面電阻為1Ω/sq至300Ω/sq。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)體,其中,所述金屬層包含選自Cu、Al、Ag、Nd、Mo、Ni以及它們的合金中的一種或兩種以上。
12.一種導(dǎo)電結(jié)構(gòu)體的制備方法,該制備方法包括:
在基板上形成金屬層;以及
形成減光反射層,該減光反射層設(shè)置在所述金屬層上并且包含銅-錳-鎳氧化物,
其中,所述減光反射層中的銅含量為28原子%至46原子%,錳含量為3原子%至12原子%,鎳含量為17原子%至24原子%,氧含量為18原子%至52原子%,并且
所述減光反射層中的所述氧含量與所述銅含量、錳含量、鎳含量和氧含量的總和的比為0.18至0.52。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制備方法,還包括:
分別地或同時地對所述金屬層和所述減光反射層進行圖案化。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制備方法,其中,所述形成減光反射層通過使用反應(yīng)濺射法來進行。
15.一種包括權(quán)利要求1至11中的任意一項所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)體的觸摸屏面板。
16.一種包括權(quán)利要求15所述的觸摸屏面板的顯示器件。
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