[發(fā)明專利]制備撓性有機(jī)?無(wú)機(jī)層壓材料的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201680017247.1
• 申請(qǐng)日: 2016-03-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107429390A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M·阿爾夫;J·弗朗克;T·阿德?tīng)柭?/a>;S·克洛茨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 巴斯夫涂料有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/30
• 分類號(hào): C23C16/30;C23C16/455
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所11247
• 代理人: 張雙雙,劉金輝

1.一種制備層壓材料的方法，包括至少兩次包含以下的序列：

(a)通過(guò)進(jìn)行3至150個(gè)原子層沉積方法的循環(huán)來(lái)沉積無(wú)機(jī)層，和

(b)通過(guò)進(jìn)行1至3個(gè)分子層沉積方法的循環(huán)來(lái)沉積包含氮的有機(jī)層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中在該分子層沉積方法中使用伯胺來(lái)沉積該有機(jī)層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的方法，其中在該分子層沉積方法中使用芳族胺來(lái)沉積該有機(jī)層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)的方法，其中在該分子層沉積方法中使用含有羥基的芳族胺來(lái)沉積該有機(jī)層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)的方法，其中在該原子層沉積方法中使用含Al化合物來(lái)沉積該無(wú)機(jī)層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)的方法，其中包含(a)和(b)的序列進(jìn)行至少30次。

7.一種層壓材料，包含至少兩次的包含以下的層序列：

(a)厚度為0.3至15nm的無(wú)機(jī)層，和

(b)厚度為0.1至3nm的含氮有機(jī)層。

8.根據(jù)權(quán)利要求7的層壓材料，其中該有機(jī)層含有呈氧化態(tài)-3的氮。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8的層壓材料，其中該無(wú)機(jī)層包含AlO_x(OH)_y，其中0≤x≤1.5；0≤y≤3并且2x+y＝3。

10.根據(jù)權(quán)利要求7-9中任一項(xiàng)的層壓材料，其中該層壓材料包含該包含至少30次的(a)和(b)的層序列。

11.一種阻擋膜，包含根據(jù)權(quán)利要求7-10中任一項(xiàng)的層壓材料。

12.根據(jù)權(quán)利要求11的阻擋膜，其中該阻擋膜進(jìn)一步包含聚合基材。

13.根據(jù)權(quán)利要求11或12的阻擋膜，其中該阻擋膜進(jìn)一步包含平坦化層。

14.根據(jù)權(quán)利要求11-13中任一項(xiàng)的阻擋膜在包封、包裝或鈍化中的用途。

15.一種電子器件，包含根據(jù)權(quán)利要求11-13中任一項(xiàng)的阻擋膜。