[發(fā)明專利]電磁波檢測器、電磁波檢測器陣列以及氣體分析裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680015138.6
• 申請日: 2016-03-09
• 公開（公告）號: CN107430028B
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小川新平;藤澤大介
• 申請（專利權(quán)）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G01J1/02
• 分類號: G01J1/02;H01L27/144;H01L35/32;H01L37/02
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 程晨

1.一種電磁波檢測器，選擇性地檢測波長λA的電磁波，所述電磁波檢測器的特征在于，包括：

基板，具有中空部；

溫度探測部，包括波長選擇構(gòu)造以及探測膜，所述波長選擇構(gòu)造與規(guī)定的波長λA的電磁波產(chǎn)生表面等離子體共振并變換為熱來吸收，所述探測膜對被吸收的熱進行檢測；以及

支承構(gòu)造，將該溫度探測部保持在該中空部之上，

該支承構(gòu)造還具備對該支承構(gòu)造具有的吸收波長的電磁波進行反射的反射構(gòu)造，

該支承構(gòu)造包括具有絕緣體層的支承腿，該支承腿具備對該絕緣體層具有的吸收波長的電磁波進行反射的反射構(gòu)造，

該反射構(gòu)造是在該支承腿的絕緣體層的表面?zhèn)纫允乖摻^緣體層的吸收波長的電磁波進行表面等離子體共振的方式配置的多個金屬圖案。

2.一種電磁波檢測器，選擇性地檢測波長λA的電磁波，所述電磁波檢測器的特征在于，包括：

基板，具有中空部；

溫度探測部，包括波長選擇構(gòu)造以及探測膜，所述波長選擇構(gòu)造與規(guī)定的波長λA的電磁波產(chǎn)生表面等離子體共振并變換為熱來吸收，所述探測膜對被吸收的熱進行檢測；以及

支承構(gòu)造，將該溫度探測部保持在該中空部之上，

該支承構(gòu)造還具備對該支承構(gòu)造具有的吸收波長的電磁波進行反射的反射構(gòu)造，

該支承構(gòu)造包括設(shè)置在該基板之上的膜片，

在該膜片之上設(shè)置包括絕緣體層的支承腿，該反射構(gòu)造對該絕緣體層以及該膜片具有的吸收波長的電磁波進行反射，

該反射構(gòu)造是在該支承腿的絕緣體層的表面?zhèn)纫允乖摻^緣體層的吸收波長的電磁波進行表面等離子體共振的方式配置的多個金屬圖案。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電磁波檢測器，其特征在于，

所述反射構(gòu)造是MIM構(gòu)造，該MIM構(gòu)造包括所述支承腿的絕緣體層、配置在該絕緣體層的表面?zhèn)鹊亩鄠€金屬圖案以及配置在該絕緣體層的背面?zhèn)鹊慕饘賹樱摻^緣體層的吸收波長的電磁波進行表面等離子體共振。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電磁波檢測器，其特征在于，

所述反射構(gòu)造是在所述膜片的表面?zhèn)纫允乖撃て奈詹ㄩL的電磁波進行表面等離子體共振的方式配置的多個金屬圖案。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電磁波檢測器，其特征在于，

所述反射構(gòu)造是MIM構(gòu)造，該MIM構(gòu)造包括所述膜片、配置在該膜片的表面?zhèn)鹊亩鄠€金屬圖案以及配置在該膜片的背面?zhèn)鹊慕饘賹樱撃て奈詹ㄩL的電磁波進行表面等離子體共振。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中的任意一項所述的電磁波檢測器，其特征在于，

所述波長選擇構(gòu)造包括金屬層，該金屬層在表面具有周期性的凹部或者凸部。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～5中的任意一項所述的電磁波檢測器，其特征在于，

所述波長選擇構(gòu)造包括：中間層，包括絕緣體、半導(dǎo)體或者介電體；周期性的金屬圖案，設(shè)置在該中間層的表面?zhèn)龋灰约敖饘賹樱O(shè)置在該中間層的背面?zhèn)取?/p>

8.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任意一項所述的電磁波檢測器，其特征在于，

所述金屬圖案的水平剖面是從由圓形以及正方形構(gòu)成的組中選擇的形狀。

9.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任意一項所述的電磁波檢測器，其特征在于，

所述金屬圖案的水平剖面是從由長方形、橢圓形以及多邊形構(gòu)成的組中選擇的形狀。

10.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任意一項所述的電磁波檢測器，其特征在于，

所述金屬圖案由從由金、銀、鋁以及石墨烯構(gòu)成的組中選擇的材料構(gòu)成。

11.一種電磁波檢測器陣列，其特征在于，

1維或者2維地配置有權(quán)利要求1～10中的任意一項所述的電磁波檢測器。