[發(fā)明專利]透明導(dǎo)電性基板及透明層疊結(jié)構(gòu)體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680010302.4
• 申請日: 2016-03-11
• 公開（公告）號: CN107250959B
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 須田具和;高橋明久;大野幸亮
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社愛發(fā)科
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041;B32B7/02;H01B5/14
• 代理公司: 北京德琦知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018
• 代理人: 樸圣潔;康泉

1.一種透明導(dǎo)電性基板，其具備：

透明基體；和

結(jié)構(gòu)體，所述結(jié)構(gòu)體在所述透明基體的一個面依次層疊金屬膜、作為含有鉬(Mo)的氧化膜的中間膜及透明導(dǎo)電膜而成，

在所述透明基體上形成的所述金屬膜由在Al中含有Nd的Al-Nd合金構(gòu)成，

所述金屬膜與所述中間膜之間存在界面，

在所述結(jié)構(gòu)體中，對于可見光區(qū)域的入射光的平均反射率為10％以下，

在所述中間膜的電阻率的控制及所述透明導(dǎo)電膜的膜厚的控制當(dāng)中，至少進(jìn)行一個控制，從而所述中間膜作為色調(diào)發(fā)生變化的膜，其中，所述中間膜的電阻率的控制基于所述中間膜所含的氧量的調(diào)整而進(jìn)行。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電性基板，其具備：

在所述結(jié)構(gòu)體中，對于波長550nm的入射光的反射率為5％以下。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的透明導(dǎo)電性基板，其中，所述中間膜的電阻率為1.8×10⁸以下，所述電阻率的單位為μΩ·cm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的透明導(dǎo)電性基板，其中，所述透明導(dǎo)電膜的膜厚為10以上且50以下的范圍，所述膜厚的單位為nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的透明導(dǎo)電性基板，在所述透明基體的所述一個面依次層疊所述金屬膜、所述中間膜、所述透明導(dǎo)電膜而成的結(jié)構(gòu)體通過蝕刻處理而具有所期望的圖案。

6.一種透明層疊結(jié)構(gòu)體，具備：

由在Al中含有Nd的Al-Nd合金構(gòu)成的金屬膜；

設(shè)于所述金屬膜上、且作為含有鉬(Mo)的氧化膜的中間膜；及

設(shè)于所述中間膜上的透明導(dǎo)電膜，

所述金屬膜與所述中間膜之間存在界面，

在所述透明層疊結(jié)構(gòu)體中，對于可見光區(qū)域的入射光的平均反射率為10％以下，

在所述中間膜的電阻率的控制及所述透明導(dǎo)電膜的膜厚的控制當(dāng)中，至少進(jìn)行一個控制，從而所述中間膜作為色調(diào)發(fā)生變化的膜，其中，所述中間膜的電阻率的控制基于所述中間膜所含的氧量的調(diào)整而進(jìn)行。