[發明專利]通過空間諧波的多重截斷而優化計算效率

有效

• 申請號: 201680009657.1
• 申請日: 2016-02-22
• 公開（公告）號: CN107209004B
• 公開（公告）日: 2020-02-07
• 發明（設計）人: 安德烈·韋爾德曼
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 11287 北京律盟知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 張世俊

1.一種測量系統，其包括：

照明源，其經配置以將一定量的照明光提供到具有多重空間周期的周期性計量目標，所述多重空間周期包含沿所述周期性計量目標的第一方向的一基本空間周期及一或多個逼近空間周期，其中所述一或多個逼近空間周期中的每一者是所述基本空間周期的整數分數；

檢測器，其經配置以接收響應于所述一定量的照明光而從所述周期性計量目標收集的一定量的光且產生多個經測量信號；及

一或多個計算系統，其經配置以：

接收對所述周期性計量目標的所述多重空間周期的指示；

根據所述周期性計量目標的所述多重空間周期中的每一者將與所述周期性計量目標相關聯的多個空間諧波分類為多個不同群組，其中每一空間諧波群組具有不同諧波間隔；及

選擇與所述多個不同空間諧波群組中的每一者相關聯的截斷階數。

2.根據權利要求1所述的測量系統，其中所述一或多個計算系統進一步經配置以：

從所述檢測器接收所述多個經測量信號；及

執行回歸分析以基于以選定截斷階數所模擬的測量模型與所述經測量信號的擬合而估計所述周期性計量目標的一或多個所關注參數，其中以所述選定截斷階數所模擬的所述測量模型包含電磁模擬器，所述電磁模擬器利用所述周期性計量目標關于所述多個空間諧波的傅里葉展開。

3.根據權利要求1所述的測量系統，其中從用戶接收對所述計量目標的所述多重空間周期的所述指示。

4.根據權利要求1所述的測量系統，其進一步包括：

確定所述周期性計量目標的所述多重空間周期中的每一者。

5.根據權利要求4所述的測量系統，其中所述確定所述周期性計量目標的所述多重空間周期中的每一者涉及：

以相對高的截斷階數計算周期性計量目標幾何形狀的電介質電容率的空間諧波的傅里葉級數；及

分析所述傅里葉級數的所述空間諧波中的每一者的振幅。

6.根據權利要求4所述的測量系統，其中所述確定所述周期性計量目標的所述多重空間周期中的每一者涉及分析所述周期性計量目標的幾何形狀。

7.根據權利要求1所述的測量系統，其中所述選擇與所述多個不同空間諧波群組中的每一者相關聯的所述截斷階數涉及：

確定所述多個不同群組中的每一者的所述空間諧波中的每一者的振幅；及

基于所述多個不同群組中的每一者的所述空間諧波的所述振幅的衰變速率而選擇與所述多個不同群組中的每一者相關聯的所述截斷階數。

8.根據權利要求1所述的測量系統，其中所述選擇與所述多個不同空間諧波群組中的每一者相關聯的所述截斷階數涉及：

使用電磁模擬器對所述多個不同空間諧波群組中的每一者執行單獨收斂測試，所述電磁模擬器利用所述周期性計量目標關于所述多個空間諧波的傅里葉展開。

9.根據權利要求1所述的測量系統，其中具有沿所述周期性計量目標的所述第一方向的多重空間周期的所述目標還包含沿不同于所述第一方向的第二方向的多重空間周期，其中沿所述第二方向的所述多重空間周期包含沿所述周期性計量目標的所述第二方向的一基本空間周期及一或多個逼近空間周期，其中沿所述第二方向的所述一或多個逼近空間周期中的每一者是沿所述第二方向的所述基本空間周期的整數分數。

10.根據權利要求1所述的測量系統，其中不同截斷階數與所述多個不同空間諧波群組中的每一者相關聯。

11.根據權利要求2所述的測量系統，其中所述電磁模擬器是基于傅里葉的電磁模擬器。

12.根據權利要求1所述的測量系統，其中所述周期性計量目標包含具有相對小間距的第一周期性目標，所述第一周期性目標被具有相對大間距的第二周期性圖案劃分成若干群組。