[發(fā)明專利]多層納米纖維化學機械拋光墊

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680007688.3
• 申請日: 2016-01-29
• 公開（公告）號: CN107206570B
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發(fā)明（設計）人: R·D·托勒斯;M·C·奧里拉利;F·C·雷德克;R·巴賈杰
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: B24B37/22
• 分類號: B24B37/22;B24B37/24
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖

1.一種拋光墊，其包括：

層，其由隨機分布的纖維構成，所述隨機分布的纖維中的每一個具有20納米至900納米的直徑和每立方厘米0.1克至每立方厘米50克的密度，其中所述層包括重量百分比5至重量百分比30的聚合物材料和無機材料。

2.如權利要求1所述的拋光墊，其中所述層包括拋光材料，所述拋光材料卷繞在用于輥對輥拋光系統(tǒng)上的供應輥上。

3.如權利要求2所述的拋光墊，其中所述層具有小于0.032英寸的厚度。

4.如權利要求2所述的拋光墊，其中所述纖維的交叉點包括涂層。

5.如權利要求1所述的拋光墊，其中所述層設置在背層上。

6.如權利要求5所述的拋光墊，其中所述層和所述背層包括拋光材料，所述拋光材料卷繞在用于輥對輥拋光系統(tǒng)上的供應輥上。

7.如權利要求5所述的拋光墊，其中所述纖維的交叉點包括涂層。

8.一種拋光墊，其包括：

第一層，其具有0.007英寸至0.001英寸的厚度，所述第一層包括隨機纖維，每一個纖維具有20納米至900納米的直徑，其中所述第一層包括重量百分比5至重量百分比30的聚合物材料和重量百分比1至重量百分比30的無機材料；以及

第二層，其粘附至所述第一層的背面，

其中在所述第一層中的兩個或更多個纖維上及所述兩個或更多個纖維之間設置涂層。

9.如權利要求8所述的拋光墊，其中所述第一層包括每立方厘米0.1克至每立方厘米50克的密度。

10.如權利要求8所述的拋光墊，其中所述拋光墊卷繞在用于輥對輥拋光系統(tǒng)上的供應輥上。

11.如權利要求8所述的拋光墊，其中所述第二層包括背層。

12.如權利要求11所述的拋光墊，其中所述背層包括50肖氏D至65肖氏D的硬度。

13.如權利要求8所述的拋光墊，其中所述第二層包括纖維層。

14.如權利要求13所述的拋光墊，其中所述纖維層包括類似于所述第一層的隨機纖維。

15.一種自基板去除材料的方法，其包括：

將基板推向壓板上的纖維層，所述纖維層設置在供應輥與卷繞輥之間并且具有小于0.032英寸的厚度和由各自具有20納米至900納米的直徑的纖維構成，其中所述纖維層包括重量百分比5至重量百分比30的聚合物材料和重量百分比1至重量百分比30的無機材料；

相對于所述基板，旋轉(zhuǎn)所述壓板以及所述供應輥和所述卷繞輥；

自所述基板的表面去除材料；以及

在自所述基板去除材料之后相對于所述壓板推進所述纖維層。

16.如權利要求15所述的方法，其中所述推進包括相對于所述壓板將所述纖維層推進0.1mm與20mm之間。

17.如權利要求15所述的方法，其中所述推進包括相對于所述壓板將所述纖維層推進1mm與5mm之間。

18.如權利要求15所述的方法，其中所述纖維層耦接至背層。

19.如權利要求15所述的方法，其中所述纖維層設置在供應輥上。

20.如權利要求19所述的方法，其中所述纖維層包括20英尺至100英尺的長度。