[發明專利]采用具有摩擦增強圖案的周邊表面在濕式化學工藝期間接觸基板的壓模制品

有效

• 申請號: 201680006569.6
• 申請日: 2016-01-15
• 公開（公告）號: CN107278174B
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發明（設計）人: 戴維·阿爾瓦雷斯;吉米·K·阿特金森
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04;H01L21/67
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種在基板清潔期間與基板可旋轉地連通的制品，所述制品包括：

環形主體，所述環形主體包括第一側壁、與所述第一側壁相對的第二側壁，及外周邊表面，所述外周邊表面連接所述第一側壁及所述第二側壁，其中所述外周邊表面包含至少一個圖案化表面，所述圖案化表面包括至少一個槽，且所述至少一個槽的每一個形成循環圖案，所述循環圖案沿著所述外周邊以每英寸30個循環至每英寸150個循環的頻率范圍發生，并且其中所述至少一個槽的每一個包含交會點，所述至少一個槽的相應槽在這些交會點處與自身交叉，

其中所述至少一個圖案化表面經構造以在基板清潔期間緊靠所述基板，以用于將清潔流體引導離開所述環形主體和所述基板之間的摩擦接觸區域。

2.根據權利要求1所述的制品，其中所述環形主體具有外徑，所述外徑在二十毫米至一百五十毫米之間的范圍內。

3.根據權利要求1所述的制品，其中所述至少一個圖案化表面包含第一圖案化表面，所述第一圖案化表面面向第二圖案化表面，所述第二圖案化表面位于所述外周邊表面的周向定位的凹陷中。

4.根據權利要求1所述的制品，其中所述至少一個槽包含沿著所述外周邊表面間隔的多個槽。

5.根據權利要求1所述的制品，進一步包括多個齒輪，所述齒輪徑向突出到頂部而作為所述外周邊表面的一部分。

6.根據權利要求1所述的制品，其中所述至少一個槽具有從五微米到五十微米范圍的深度。

7.一種在基板清潔期間與基板可旋轉地連通的制品，所述制品包括：

環形主體，所述環形主體包括第一側壁、與所述第一側壁相對的第二側壁，及外周邊表面，所述外周邊表面連接所述第一側壁及所述第二側壁，其中所述外周邊表面包含至少一個圖案化表面，所述圖案化表面包括形成循環圖案的至少一個槽，并且所述至少一個槽包含交會點，所述至少一個槽在這些交會點處與自身交叉，

其中所述至少一個圖案化表面經構造以在基板清潔期間緊靠所述基板，以用于將清潔流體引導離開所述環形主體和所述基板之間的摩擦接觸區域。

8.根據權利要求7所述的制品，其中所述環形主體具有外徑，所述外徑在二十毫米至一百五十之間的范圍內。

9.根據權利要求7所述的制品，其中所述至少一個圖案化表面包含第一圖案化表面，所述第一圖案化表面面向第二圖案化表面，所述第二圖案化表面位于所述外周邊表面的周向定位的凹陷中。

10.根據權利要求7所述的制品，其中所述至少一個槽包含沿著所述外周邊表面間隔的多個槽。

11.根據權利要求7所述的制品，進一步包括多個齒輪，所述齒輪徑向突出到頂部而作為所述外周邊表面的一部分。

12.根據權利要求7所述的制品，其中所述至少一個槽具有從五微米到五十微米范圍的深度。

13.一種支持基板的化學機械研磨的基板清潔模塊，包括：

殼體，所述殼體含有清潔溶液；

電動刷，所述電動刷使用所述清潔溶液清潔所述基板的表面；及

多個基板滾輪，這些基板滾輪經構造以接收所述基板的側邊緣并向所述側邊緣施加扭矩，其中所述多個基板滾輪的每一個包含第一環形主體，所述第一環形主體包括第一側壁、與所述第一側壁相對的第二側壁，及外周邊表面，所述外周邊表面連接所述第一側壁及所述第二側壁，其中所述外周邊表面包含至少一個第一圖案化表面，所述第一圖案化表面包括至少一個第一槽，且所述至少一個第一槽的每一個形成循環圖案，所述循環圖案沿著所述外周邊以每英寸30個循環至每英寸150個循環的頻率范圍發生，并且其中所述至少一個第一槽的每一個包含交會點，所述至少一個第一槽的相應第一槽在這些交會點處與自身交叉，并且在所述基板的清潔期間，所述至少一個第一圖案化表面緊靠所述基板。