[發明專利]真空泵

有效

• 申請號: 201680005966.1
• 申請日: 2016-01-19
• 公開（公告）號: CN107208649B
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 大立好伸;前島靖;高阿田勉
• 申請（專利權）人: 埃地沃茲日本有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張雨;劉林華

在具有固定圓板的真空泵中，所述固定圓板具有分割構造，使在接合該分割構造的接合面上產生的間隙或偏差變少。在涉及本實施方式的渦輪分子泵中，使固定圓板與對芯（中心對準）的固定部件的配合關系與以往相反。即，在基座與固定圓板的嵌合構造中，借助由基座的內周面將固定圓板的外周面推入而接合（從外側約束）的構造進行中心對準（定位/定心）。此外，將固定圓板的配合構造用一體零件構成。進而，另外設置固定翼與具有西格班構造的固定圓板的配合位置。

技術領域

本發明涉及真空泵。詳細地講，涉及具備固定圓板的真空泵，所述固定圓板具有分割構造。

背景技術

真空泵中的具有西格班型結構的西格班型分子泵在旋轉圓板或固定圓板的至少某一方的與間隙對置的表面上，刻設有螺旋槽（也稱作螺旋狀槽或漩渦狀槽）流路，所述固定圓板與該旋轉圓板在軸向上具有間隙（余隙）而設置。

并且，對擴散進入到螺旋槽流路內的氣體分子借助旋轉圓板賦予旋轉圓板切線方向（即，旋轉圓板的旋轉方向的切線方向）的動量，由此借助螺旋槽從吸氣口朝向排氣口賦予占優的方向性而進行排氣。

專利文獻1：日本實用新型注冊公報第2501275號公報。

專利文獻2：日本特開2011－074903號公報。

專利文獻3：日本特許第5062257號公報。

在專利文獻1中，記載了西格班型真空泵。

在專利文獻2中，記載了以下結構：在渦輪分子泵中，為了實現零件件數的削減及組裝作業的效率化，多級的固定翼的至少一級由以在周向上相接的方式配置的多個分割固定翼構成，分割固定翼配設多個翼葉片和圓弧狀的間隔部，由此不需要以往的間隔環，所述多個翼葉片沿周向并列設置，所述間隔部用來將該翼葉片的外周部連結而定位在既定位置。

在專利文獻3中，記載了以下結構：為了容易將排氣口側的固定翼及間隔環依次層疊，使間隔環的內徑比最大外徑大。

圖6至圖11是用來說明以往技術的圖。

圖7及圖8是從排氣口6側觀察圖6的b－b截面時的剖視圖。

圖8（b）是將圖8（a）的γ部放大的圖。

圖10是將圖9的δ部放大的圖，圖11是用來說明圖9中圖示的渦輪分子泵1000的組裝時的圖。

如圖6所示，具有專利文獻1所記載的那樣的西格班構造的作為西格班型泵的渦輪分子泵1000與霍爾維克型泵相比，能夠使渦輪分子泵1000的軸向的高度尺寸變緊湊。

另一方面，在渦輪分子泵1000中采用多級西格班構造的情況下，以插入到上下的旋轉翼9的級間的方式配置的固定圓板5000為了能夠從旋轉翼9的側方組裝，需要如圖7所示那樣設為分割為以軸線n為切斷面的半圓形狀的分割構造。

并且，在壓力變高的部分（例如，排氣口6側）采用具有這樣的分割構造的固定圓板5000的情況下，排氣的氣體如在圖6中用箭頭表示的那樣從固定圓板5000的將分割構造接合的端面（以后稱作接合端面）逆流，結果，有排氣性能下降的問題。

此外，如圖8（a）及圖8（b）所示，在固定圓板5000側設有螺旋狀槽的情況下，如果在接合端面（軸線l）處產生偏差，則螺旋狀槽的連續性受損，結果，有可能不能得到如設計那樣的排氣性能。

作為用來防止上述那樣的接合端面（或接合端部）處的性能下降的構造，有在專利文獻2中記載的構造。

在上述專利文獻2所記載的技術中，如在圖9及圖10中圖示的那樣，固定圓板5100配設為在作為用來定位的固定部件的間隔環7000的外周側相接，配設為被上下的間隔環7000夾入。即，間隔環7000的外周面成為與固定圓板5100的配合（インロー）位置（E）。