[發(fā)明專利]PTZT壓電膜及其壓電膜形成用液體組合物的制造方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201680005012.0 | 申請(qǐng)日： | 2016-02-15 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN107431123B | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-04-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 土井利浩;曽山信幸 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 三菱綜合材料株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | H01L41/187 | 分類號(hào)： | H01L41/187;B41J2/14;B41J2/16;C01G35/00;H01L41/318;H01L41/319;H01L41/43 |
| 代理公司： | 北京德琦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018 | 代理人： | 樸圣潔;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | ptzt 壓電 及其 形成 液體 組合 制造 方法 | ||
1.一種PTZT壓電膜形成用液體組合物的制造方法，其特征在于，包括以下工序：
使Ta醇鹽、Zr醇鹽、β-二酮類及二醇回流而使所述Ta醇鹽和所述Zr醇鹽與所述二醇反應(yīng)來(lái)制備第1合成液；
向所述第1合成液中添加Ti醇鹽并再次回流而使其反應(yīng)來(lái)制備第2合成液；
向所述第2合成液中添加Pb化合物并進(jìn)一步回流而使其反應(yīng)來(lái)制備第3合成液；以及
從所述第3合成液去除溶劑之后，用醇稀釋來(lái)制造第4合成液即PTZT壓電膜形成用液體組合物，
所述PTZT壓電膜形成用液體組合物在將總計(jì)所述Ta醇鹽、所述Zr醇鹽及所述Ti醇鹽的量設(shè)為1摩爾時(shí)，分別以成為7～11摩爾、1.5～3.0摩爾的比例包含所述二醇、所述β-二酮類，
所述PTZT壓電膜形成用液體組合物的金屬原子比Pb：Ta：Zr：Ti滿足1.00～1.25：0.01～0.04：0.40～0.60：0.40～0.60。
2.一種PTZT壓電膜的形成方法，其包括以下工序：
將通過(guò)權(quán)利要求1所述的方法制造的PTZT壓電膜形成用液體組合物涂布到基板的取向控制膜上并進(jìn)行干燥，由此形成PTZT前體膜；
預(yù)燒結(jié)所述PTZT前體膜；以及
燒成所述預(yù)燒結(jié)后的PTZT前體膜，
所述PTZT前體中的金屬原子比Pb：Ta：Zr：Ti滿足1.00～1.25：0.01～0.04：0.40～0.60：0.40～0.60。
3.一種PTZT壓電膜，通過(guò)權(quán)利要求2所述的方法來(lái)制造，其由含有Pb、Ta、Zr及Ti的鈣鈦礦型結(jié)構(gòu)的金屬氧化物構(gòu)成，所述金屬氧化物還含有碳，所述碳的含量為80～800質(zhì)量ppm，
Ta原子相對(duì)于總計(jì)Zr原子和Ti原子的金屬原子的比例在0＜Ta≤0.04的范圍。
4.一種電子組件，其具有權(quán)利要求3所述的PTZT壓電膜。
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