[發明專利]樹脂組合物、使用其的固體攝像器件及其制造方法

有效

• 申請號: 201680004200.1
• 申請日: 2016-01-20
• 公開（公告）號: CN107001799B
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發明（設計）人: 日比野利保;藤井真實;諏訪充史
• 申請（專利權）人: 東麗株式會社
• 主分類號: C08L83/04
• 分類號: C08L83/04;C08G77/14;C08G77/24;C08K3/36;C08K5/07;C08K5/10;C08K5/17;G02B1/111;H01L27/14;H04N5/369
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 楊宏軍;李國卿

本發明提供一種樹脂組合物，其特征在于，所述樹脂組合物包含(a)溶劑、(b)二氧化硅粒子、(c)聚硅氧烷及(d)仲胺或叔胺化合物，且(a)溶劑包含有機酸。本發明提供一種即使在透鏡形狀等具有凹凸的基底上也能簡便地得到均勻的膜、且保存穩定性也良好的樹脂組合物。

技術領域

本發明涉及樹脂組合物。此外，還涉及使用其的固體攝像器件、及固體攝像器件的制造方法。

背景技術

已廣泛開發了將二氧化硅粒子與聚硅氧烷組合的技術，且已知這樣的技術涉及多個領域。防污效果好、提高硬度、降低折射率等是其一例，功能涉及很多方面。

另外，對于CCD等固體攝像器件而言，提出了在光電轉換元件上形成聚光用的微透鏡，并在其表面上形成防反射膜。防反射膜可發揮防止眩光、重影(ghost)這樣的噪聲的作用。

防反射膜的形成方法可大致分為涂布形成型和氣相生長形成型，其中，前者的成本低。在氣相生長形成型的防反射膜的情況下，通常需要大規模設備，且難以形成大面積的膜。

一般而言，涂布形成型的防反射膜可通過將能形成防反射膜的液體(涂布型組合物)涂布于基板上并使之固化從而進行制膜這樣的簡單工序來得到。

作為透鏡上的涂布形成型的防反射膜，提出了：將在樹脂中包含大量空間的多孔層形成防反射膜(例如，參見專利文獻1)；使低折射率樹脂在透鏡表面熱熔接而形成防反射膜(例如，參見專利文獻2)；包含中空二氧化硅和粘結劑樹脂的防反射膜(例如，參見專利文獻3)；將包含二氧化硅凝膠和烷氧基硅烷的水解物的涂布液固化從而形成防反射膜(例如，參見專利文獻4)；等等。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利第3921952號

專利文獻2：日本特開2003-258224號公報

專利文獻3：日本特開2010-267770號公報

專利文獻4：日本特開平8-122501號公報

發明內容

發明所要解決的問題

然而，現有技術中存在下述問題：在具有透鏡形狀等凹凸的基底上難以形成膜厚均勻性高的防反射膜。例如，在使用如上所述的涂布型組合物的情況下，涂布型組合物將流入到透鏡之間的凹部，而在透鏡上部基本上未形成膜。透鏡之間的間隙不會成為V字型、而是會成為帶圓弧的向下凸的形狀，因此無法將入射光攝入到光電受光部中，敏感度不會提高。另外，由于基底的凹凸而導致發生條紋(striation)等涂布不良，從該方面考慮，也難以得到均勻的膜。

并且，由于在體系中包含二氧化硅粒子，因此在組合物的保存中還存在粒子析出等保存穩定性方面的問題。

本發明的目的在于提供一種即使在透鏡形狀等具有凹凸的基底上也能簡便地得到均勻的膜、且保存穩定性也良好的樹脂組合物。

用于解決問題的手段

本發明為一種樹脂組合物，其特征在于，所述樹脂組合物包含(a)溶劑、(b)二氧化硅粒子、(c)聚硅氧烷及(d)仲胺或叔胺化合物，且(a)溶劑包含有機酸。

發明效果

根據本發明，能夠得到同時實現良好的涂布性及保存穩定性的樹脂組合物。另外，根據本發明，可提供一種能夠提高制造效率的固體攝像器件的制造方法。

附圖說明

[圖1]為示出本發明的固體攝像器件的一個實施方式的部分截面圖

[圖2]為通過透鏡頂點且與透鏡的底面正交的截面的示意圖

[圖3]為示出在透鏡上形成固化膜之前的微透鏡陣列的截面圖