[發(fā)明專利]工業(yè)用機器人

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680003903.2
• 申請日: 2016-07-25
• 公開（公告）號: CN107000204B
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 白木隆裕;北原康行;栗林保;中江孝郎;改野重幸
• 申請（專利權(quán)）人: 日本電產(chǎn)三協(xié)株式會社
• 主分類號: B25J9/06
• 分類號: B25J9/06
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 沈捷

本申請?zhí)峁┮环N工業(yè)用機器人，能使主體部薄型化，其中，臂的基端側(cè)以能轉(zhuǎn)動的方式與上述主體部連接。例如，該工業(yè)用機器人包括：手，該手裝載搬運對象物；臂，手以能轉(zhuǎn)動的方式與該臂的前端側(cè)連接；以及主體部(7)，臂的基端側(cè)以能轉(zhuǎn)動的方式與該主體部連接，主體部(7)包括：臂的基端側(cè)以能轉(zhuǎn)動的方式與其上面?zhèn)冗B接的升降體(20)；將升降體(20)保持為能升降并且收容有升降體(20)的至少下端側(cè)的一部分的框體(21)；以及使升降體(20)升降的升降機構(gòu)(22)。升降機構(gòu)(22)以在從上下方向觀察時與升降體(20)重疊的方式收容于框體(21)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對半導(dǎo)體晶片等搬運對象物進(jìn)行搬運的工業(yè)用機器人。

背景技術(shù)

以往，已知有在前開式晶圓盒(英文：Front Open Unified Pod)與半導(dǎo)體晶片處理裝置之間搬運半導(dǎo)體晶片的水平多關(guān)節(jié)機器人(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1中記載的水平多關(guān)節(jié)機器人構(gòu)成裝置前端模塊(英文：Equipment Front End Module)的一部分，并配置在裝置前端模塊的框體內(nèi)部。裝置前端模塊配置在半導(dǎo)體晶片處理裝置的前側(cè)，前開式晶圓盒配置在裝置前端模塊的前側(cè)。裝置前端模塊的框體形成為細(xì)長的長方體的箱狀，該長方體以前后方向作為短邊方向，以左右方向作為長邊方向。

此外，專利文獻(xiàn)1中記載的水平多關(guān)節(jié)機器人包括：兩只手，兩只該手裝載半導(dǎo)體晶片；臂，兩只手以能轉(zhuǎn)動的方式與該臂的前端側(cè)連接；以及主體部，臂的基端側(cè)以能轉(zhuǎn)動的方式與該主體部連接。臂由第一臂部、第二臂部以及第三臂部構(gòu)成，上述第一臂部的基端側(cè)以能轉(zhuǎn)動的方式與主體部連接，上述第二臂部的基端側(cè)以能轉(zhuǎn)動的方式與第一臂部的前端側(cè)連接，上述第三臂部的基端側(cè)以能轉(zhuǎn)動的方式與第二臂部的前端側(cè)連接，并且手以能轉(zhuǎn)動的方式與上述第三臂部的前端側(cè)連接。主體部包括：柱狀構(gòu)件，臂的基端側(cè)(即，第一臂部的基端側(cè))以能轉(zhuǎn)動的方式與該柱狀構(gòu)件的上端連接；框體，該框體將柱狀構(gòu)件保持為能升降；以及升降機構(gòu)，該升降機構(gòu)使柱狀構(gòu)件升降。下降時的柱狀構(gòu)件收容于框體。在柱狀構(gòu)件下降時，柱狀構(gòu)件收容于框體。此外，升降機構(gòu)收容于框體。即使在柱狀構(gòu)件上升時，柱狀構(gòu)件的下端側(cè)部分也收容于框體。

框體形成為從上下方向觀察時的形狀呈大致正方形，框體的前表面和后表面形成為與前后方向正交的平面狀，框體的左右的兩側(cè)面形成為與左右方向正交的平面狀。此外，在從上下方向觀察時，柱狀構(gòu)件落入框體的外形之中。在從上下方向觀察時，柱狀構(gòu)件配置在框體的左右方向上的中心位置。此外，在從上下方向觀察時，柱狀構(gòu)件配置在框體的前后方向上的前面?zhèn)取＜矗趶纳舷路较蛴^察時，與柱狀構(gòu)件連接的臂的基端側(cè)配置在框體的前面?zhèn)取?/p>

專利文獻(xiàn)1中記載的水平多關(guān)節(jié)機器人配置在裝置前端模塊的框體內(nèi)部，以使裝置前端模塊的框體內(nèi)部的前表面與水平多關(guān)節(jié)機器人的框體的前表面相鄰。即，上述水平多關(guān)節(jié)機器人配置在裝置前端模塊的框體內(nèi)部，以使與柱狀構(gòu)件連接的臂的基端側(cè)與裝置前端模塊的框體內(nèi)部的前表面相鄰。因此，在設(shè)置有上述水平多關(guān)節(jié)機器人的半導(dǎo)體的制造系統(tǒng)中，能確保第一臂部、第二臂部以及第三臂部的長度，并且能防止裝置前端模塊的框體內(nèi)部的前表面及后表面與臂發(fā)生干涉。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利特開2015－36186號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的技術(shù)問題

如上所述，專利文獻(xiàn)1中記載的水平多關(guān)節(jié)機器人配置在裝置前端模塊的框體內(nèi)部。在裝置前端模塊的框體內(nèi)部，有時會拉繞有各種配管或配線。在裝置前端模塊的框體內(nèi)部，為了確保配管或配線的拉繞空間，優(yōu)選水平多關(guān)節(jié)機器人的主體部在前后方向上變薄。