[發明專利]光半導體裝置

有效

• 申請號: 201680002145.2
• 申請日: 2016-08-18
• 公開（公告）號: CN106605340B
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 鈴木理仁;清田和明;黑部立郎
• 申請（專利權）人: 古河電氣工業株式會社
• 主分類號: H01S5/026
• 分類號: H01S5/026;H01S5/022;H01S5/22;H01S5/227;H01S5/50
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 李國華

1.一種光半導體裝置，具備：

振蕩波長不同的多個半導體激光元件；和

陣列波導路衍射光柵，其與所述多個半導體激光元件連接，且將從所述多個半導體激光元件射出的激光匯合到同一點，

在所述光半導體裝置中，

所述多個半導體激光元件至少被分為第1組和第2組，

所述陣列波導路衍射光柵構成為：

來自屬于所述第1組的半導體激光元件的激光，在所述陣列波導路衍射光柵內通過第1衍射次數的衍射而被匯合到所述同一點，

來自屬于所述第2組的半導體激光元件的激光，在所述陣列波導路衍射光柵內通過與所述第1衍射次數不同的第2衍射次數的衍射而被匯合到所述同一點，

并且所述陣列波導路衍射光柵與所述第1以及第2組的半導體激光元件連接，

所述陣列波導路衍射光柵具有輸入側平板波導路，

來自屬于所述第1組的半導體激光元件的激光，經由第1輸入波導路群分別被導向所述輸入側平板波導路的輸入端面，

來自屬于所述第2組的半導體激光元件的激光，經由第2輸入波導路群分別被導向所述輸入側平板波導路的輸入端面，

在所述輸入端面，屬于所述第1以及第2輸入波導路群的輸入波導路，在其各自的群內，按照各自所引導的激光的波長順序排列，

所述第1輸入波導路群與所述第2輸入波導路群，在所述輸入側平板波導路的所述輸入端面上橫向排列配置，在所述第1輸入波導路群與所述第2輸入波導路群的邊界處屬于各自的群的2個所述輸入波導路，按照與各個輸入波導路內的波長順序相反的順序排列。

2.根據權利要求1所述的光半導體裝置，其中，

所述陣列波導路衍射光柵被構成為，對于所述半導體激光元件的各個激光匯合到所述同一點為止的損耗而言，在這些多個激光所構成的波段中，該波段的端側的所述損耗比中心側小。

3.根據權利要求1所述的光半導體裝置，其中，

所述多個半導體激光元件的振蕩波長的最長波長和最短波長之間的寬度、與所述陣列波導路衍射光柵的自由光譜區寬度相同。

4.根據權利要求1所述的光半導體裝置，其中，

對與所述半導體激光元件的振蕩波長的順序不同的部位進行設定，使得振蕩波段整體的輸出光強度差變小。

5.根據權利要求1所述的光半導體裝置，其中，

所述半導體激光元件和所述陣列波導路衍射光柵被集成于同一半導體光集成元件。

6.根據權利要求5所述的光半導體裝置，其中，

在所述半導體光集成元件中，所述多個半導體激光元件和多個輸入波導路以及所述陣列波導路衍射光柵被集成在同一基板上。

7.根據權利要求5所述的光半導體裝置，其中，

所述半導體光集成元件，通過將所述多個半導體激光元件和所述陣列波導路衍射光柵形成在不同的基板上，并經由多個輸入波導路進行光學連接來集成。

8.根據權利要求5所述的光半導體裝置，其中，

所述半導體光集成元件還集成了波導路型光功能元件。

9.根據權利要求5所述的光半導體裝置，其中，

還具備從所述半導體光集成元件射出的激光被耦合的波導路型光功能元件。

10.根據權利要求8或權利要求9所述的光半導體裝置，其中，

所述波導路型光功能元件具備半導體光放大器。

11.根據權利要求10所述的光半導體裝置，其中，

所述陣列波導路衍射光柵中的中心波長，等于在所述半導體激光陣列的振蕩波長中提供所述半導體光放大器的增益的最小值的波長。

12.根據權利要求1所述的光半導體裝置，其中，

所述光半導體裝置是波長可變激光光源。