[實用新型]DES線用水裝置有效
| 申請號： | 201621492927.2 | 申請日： | 2016-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN206302640U | 公開（公告）日： | 2017-07-04 |
| 發明（設計）人： | 范紅;李華;李艷國;陳蓓 | 申請（專利權）人： | 廣州興森快捷電路科技有限公司;深圳市興森快捷電路科技股份有限公司;宜興硅谷電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H05K3/00 | 分類號： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司44224 | 代理人： | 周修文 |
| 地址： | 510663 廣東省廣州市廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | des 線用水 裝置 | ||
1.一種DES線用水裝置，其特征在于，包括第一回用管道，以及沿走板方向依次布置的顯影水洗機構和酸洗水洗機構，所述酸洗水洗機構通過所述第一回用管道與所述顯影水洗機構連通，所述第一回用管道用于將所述酸洗水洗機構中的清洗液引回至顯影水洗機構中。
2.根據權利要求1所述的DES線用水裝置，其特征在于，還包括蝕刻水洗機構、退膜水洗機構及第二回用管道，所述顯影水洗機構、蝕刻水洗機構、退膜水洗機構和酸洗水洗機構沿走板方向依次布置，所述退膜水洗機構通過所述第二回用管道與所述蝕刻水洗機構連通，所述第二回用管道用于將所述退膜水洗機構中的清洗液引回至蝕刻水洗機構中。
3.根據權利要求2所述的DES線用水裝置，其特征在于，所述顯影水洗機構包括至少兩道顯影水洗槽，所述顯影水洗槽的側壁上設有顯影水洗溢流口，后一道的所述顯影水洗槽上的顯影水洗溢流口與前一道的所述顯影水洗槽連通，沿著由前至后的方向，所述顯影水洗槽上的顯影水洗溢流口的高度逐漸升高；所述酸洗水洗機構包括至少兩道酸洗水洗槽，所述第一回用管道的第一端與第一道所述酸洗水洗槽連通，所述第一回用管道的第二端與最后一道所述顯影水洗槽連通。
4.根據權利要求3所述的DES線用水裝置，其特征在于，后一道所述酸洗水洗槽上設有與前一道的所述酸洗水洗槽連通的酸洗水洗溢流口，沿著由前至后的方向，所述酸洗水洗槽上的酸洗水洗溢流口的高度逐漸升高，最后一道所述酸洗水洗槽上設有第一新水進口。
5.根據權利要求3所述的DES線用水裝置，其特征在于，所述酸洗水洗槽中設有噴淋泵，所述第一回用管道的第一端與第一道所述酸洗水洗槽中的噴淋泵連接。
6.根據權利要求2所述的DES線用水裝置，其特征在于，所述蝕刻水洗機構包括至少兩道蝕刻水洗槽，所述蝕刻水洗槽上設有蝕刻水洗溢流口，后一道的所述蝕刻水洗槽上的蝕刻水洗溢流口與前一道的所述蝕刻水洗槽連通，沿著由前至后的方向，所述蝕刻水洗槽上的蝕刻水洗溢流口的高度逐漸升高；所述退膜水洗機構包括至少兩道退膜水洗槽，所述第二回用管道的第一端與第一道所述退膜水洗槽連通，所述第二回用管道的第二端與最后一道所述蝕刻水洗槽連通。
7.根據權利要求6所述的DES線用水裝置，其特征在于，后一道所述退膜水洗槽上設有與前一道的所述退膜水洗槽連通的退膜水洗溢流口，沿著由前至后的方向，所述退膜水洗槽上的退膜水洗溢流口的高度逐漸升高，最后一道所述退膜水洗槽上設有第二新水進口。
8.根據權利要求6所述的DES線用水裝置，其特征在于，所述退膜水洗槽中設有噴淋泵，所述第二回用管道的第一端與第一道所述退膜水洗槽中的噴淋泵連接。
9.根據權利要求2-8任一項所述的DES線用水裝置，其特征在于，還包括顯影槽、蝕刻槽、退膜槽和酸洗槽，所述顯影槽、顯影水洗機構、蝕刻槽、蝕刻水洗機構、退膜槽、退膜水洗機構、酸洗槽以及酸洗水洗機構沿走板方向依次布置。
10.根據權利要求2-8任一項所述的DES線用水裝置，其特征在于，所述顯影槽、蝕刻槽、退膜槽和酸洗槽中均設有噴淋泵。
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