[實用新型]冷泵再生輔助加熱裝置

有效

• 申請號: 201621492077.6
• 申請日: 2016-12-30
• 公開（公告）號: CN206495775U
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發明（設計）人: 張鼎;李曉明
• 申請（專利權）人: 江蘇晶瑞半導體有限公司
• 主分類號: F04B53/08
• 分類號: F04B53/08
• 代理公司: 常州知融專利代理事務所(普通合伙)32302
• 代理人: 路接洲

技術領域

本實用新型涉及芯片制程技術領域，尤其是一種冷泵再生輔助加熱裝置。

背景技術

冷泵的正常工作溫度為11～15K(零下260度左右)，在運行過程中會吸附芯片制程腔體中的水汽與制程氣體，使其凝聚與吸附在冷泵腔體80K冷屏與15K冷傘表面。在冷泵再生(冷泵運行一定時間后需要將吸附其內的水汽與氣體排出，此過程為再生)過程中，冷屏與冷傘表面的水汽會流入一級冷頭腔內，現有冷泵加熱裝置只對冷泵冷傘部分的外腔壁加熱，而一級冷頭部分沒有加熱，由于腔內溫度低，水汽無法在短時間內快速排出或排出不完全，造成冷泵再生時間加長，冷泵啟動時真空管路結冰，啟動時間加長，冷泵抽芯片制程腔體真空時間加長且真空無法達到芯片工藝制程要求，降低了冷泵的使用壽命。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：基于上述問題，提供一種冷泵再生輔助加熱裝置。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種冷泵再生輔助加熱裝置，包括冷泵腔及與冷凍機單元連接的冷頭腔，所述冷泵腔外壁上設置有加熱器，所述冷泵腔沿內壁設有一屏蔽筒，所述屏蔽筒內壁上設置有沿其軸向分布的冷屏，冷泵腔的中部設置有冷傘，所述冷傘的直徑小于所述冷屏的直徑，冷傘連接二級冷頭，所述二級冷頭連接伸出冷泵腔的一級冷頭，所述一級冷頭的直徑大于二級冷頭的直徑，一級冷頭位于冷頭腔內，所述冷頭腔的外壁上貼裝有貼片式帶溫度傳感器硅膠加熱器。

具體地，所述貼片式帶溫度傳感器硅膠加熱器的內表面具有3M膠粘劑。

具體地，所述貼片式帶溫度傳感器硅膠加熱器的加熱溫度為50℃。

具體地，所述貼片式帶溫度傳感器硅膠加熱器的長度為30cm，其寬度為20cm。

具體地，所述冷泵腔外端部處安裝有安全閥。

本實用新型的有益效果是：本實用新型的加熱裝置可以快速的使冷泵內部水汽蒸發排出，節約40％冷泵再生時間，加熱使冷泵冷頭腔內干燥雜質氣體排出更徹底，腔內環境更潔凈，從而節約50％冷泵啟動時間，提高冷泵利用率，冷泵內部環境的優化使在芯片制程中制程真空達到工藝要求且抽真空時間縮短，從而增加芯片產能，優化芯片良率。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖中：1.冷泵腔，2.冷頭腔，3.屏蔽筒，4.冷屏，5.冷傘，6.二級冷頭，7.一級冷頭，8.貼片式帶溫度傳感器硅膠加熱器，9.安全閥，10.加熱器。

具體實施方式

現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

如圖1所示，一種冷泵再生輔助加熱裝置，包括冷泵腔1及與冷凍機單元連接的冷頭腔2，冷泵腔1外壁上設置有加熱器10，所述冷泵腔1沿內壁設有一屏蔽筒3，屏蔽筒3內壁上設置有沿其軸向分布的冷屏4，冷泵腔1的中部設置有冷傘5，冷傘5的直徑小于所述冷屏4的直徑，冷傘5連接二級冷頭6，二級冷頭6連接伸出冷泵腔1的一級冷頭7，一級冷頭7的直徑大于二級冷頭6的直徑，一級冷頭7位于冷頭腔2內，冷頭腔2的外壁上貼裝有貼片式帶溫度傳感器硅膠加熱器8。

貼片式帶溫度傳感器硅膠加熱器8的內表面具有3M膠粘劑，它的加熱溫度為50℃，長度為30cm，其寬度為20cm。

貼片式帶溫度傳感器硅膠加熱器8的安裝：貼片式帶溫度傳感器硅膠加熱器8的內表面具有3M膠粘劑，將其沿冷泵冷頭腔2外壁邊緣線貼裝，貼裝過程中保證貼片式帶溫度傳感器硅膠加熱器8與腔壁貼合緊密無氣泡，貼裝完成后在貼片式帶溫度傳感器硅膠加熱器8與腔壁接縫處涂抹高溫硅膠，以保證貼片式帶溫度傳感器硅膠加熱器8在使用過程中不會翹起脫落。

冷泵腔1外端部處安裝有安全閥9。因為是低溫泵，所以當停泵時，冷泵腔1中會的殘液會在常溫下吸熱汽化膨脹，所以要加裝安全閥9。

以上述依據本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據權利要求范圍來確定其技術性范圍。