[實用新型]離子源放電模塊

有效

• 申請號: 201621486875.8
• 申請日: 2016-12-31
• 公開（公告）號: CN206441695U
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發明（設計）人: 洪歡歡;聞路紅;寧錄勝;趙鵬;陳瑞強
• 申請（專利權）人: 寧波華儀寧創智能科技有限公司;寧波大學
• 主分類號: H01J49/10
• 分類號: H01J49/10;H01J49/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及離子源，特別涉及離子源放電模塊。

背景技術

離子源放電模塊中的陶瓷零件與石英玻璃管需要密封裝配，防止放電稀有氣體從陶瓷零件通過時泄漏到石英玻璃管外表面，以免與高壓電極直接放電，從而造成氣體與能量的非預期損失，最終導致離子束強度不夠與穩定性變差。目前，解決的技術主要有：

1.高溫膠裝技術：對膠狀的工藝要求非常的高，還需要考慮不同材料在超高溫度(700攝氏度左右)下的應力集中問題。

2.一次封接技術：采用相近熱膨脹系數的材料，但是對于陶瓷件與石英玻璃這兩種相差一個數量級的材料熱膨脹系數的，并且在高溫使用環境下無法有效解決。

實用新型內容

為解決上述現有技術方案中的不足，本實用新型提供了一種可靠性好、耐高溫、結構簡單的離子源放電模塊。

本實用新型的目的是通過以下技術方案實現的：

一種離子源放電模塊；所述離子源放電模塊包括：

陶瓷管，所述陶瓷管包括外徑較大部分和外徑較小部分；

金屬件，所述金屬件設置在所述外徑較小部分的外圍，并與所述陶瓷管的外徑較大部分連接在一起；

玻璃管，所述玻璃管設置在所述外徑較小部分的外圍，左側與所述金屬件連接，右側連接石英管；所述金屬件和玻璃管與所述外徑較小部分的外緣間的距離均大于零。

石英管，所述石英管包括內徑較大部分和內徑較小部分，所述內徑較大部分的端部與所述玻璃管的右側連接；所述石英管與所述外徑較小部分間的距離大于零。

與現有技術相比，本實用新型具有的有益效果為：

1.本實用新型在耐高溫的陶瓷管和石英管之間設置了過渡部件，形成陶瓷件-陶瓷件與金屬封接面-金屬-金屬與普通玻璃管封接面-普通玻璃管-普通玻璃管與變徑石英玻璃管封接面-變徑石英玻璃管的結構，防止在連接處出現應力過于集中而導致的碎裂問題；

從外部的熱傳遞方式來看，使得連接處的溫度要遠小于石英管內徑較小部分的溫度(外部為室溫環境下)，使得連接處的耐溫強度>實際工作溫度，保證了連接的可靠性，也降低了金屬件、玻璃管的耐溫要求；

內部空間分為2部分：陶瓷管和石英管內徑較小部件內的流通空間，以及由陶瓷管、金屬件、玻璃管、石英管圍成的處于所述流通空間外圍的且與流通空間連通的相對封閉的空間，大部分的高溫氣體先流入相對穩定的流通空間，與陶瓷管、石英管完成了大部分熱量的交換，然后小部分高溫氣體流入所述相對封閉的空間9-10，該空間內氣體的流動性差，其中空間9內氣體的流動性最差，所產生的熱傳導要遠小于直接熱傳導，使得各連接處的溫度小于流通空間內的溫度，以及陶瓷管和石英管內徑較小部分的溫度，從而提高了連接的可靠性；

2.結構簡單、緊湊。

附圖說明

參照附圖，本實用新型的公開內容將變得更易理解。本領域技術人員容易理解的是：這些附圖僅僅用于舉例說明本實用新型的技術方案，而并非意在對本實用新型的保護范圍構成限制。圖中：

圖1是根據本實用新型實施例1的離子源放電模塊的結構簡圖。

具體實施方式

圖1和以下說明描述了本實用新型的可選實施方式以教導本領域技術人員如何實施和再現本實用新型。為了教導本實用新型技術方案，已簡化或省略了一些常規方面。本領域技術人員應該理解源自這些實施方式的變型或替換將在本實用新型的范圍內。本領域技術人員應該理解下述特征能夠以各種方式組合以形成本實用新型的多個變型。由此，本實用新型并不局限于下述可選實施方式，而僅由權利要求和它們的等同物限定。

實施例1：

圖1示意性地給出了本實用新型實施例的離子源放電模塊的結構簡圖，如圖1所示，所述離子源放電模塊包括：

陶瓷管1，如高純型氧化鋁陶瓷、99瓷、95瓷、90瓷或85瓷，所述陶瓷管包括外徑較大部分和外徑較小部分；

金屬件2，如銀、鉬、鈮、鉭或可伐合金，所述金屬件設置在所述外徑較小部分的外圍，并與所述陶瓷管的外徑較大部分連接在一起；

玻璃管3，采用普通玻璃，所述玻璃管設置在所述外徑較小部分的外圍，左側與所述金屬件連接，右側連接石英管；所述金屬件和玻璃管與所述外徑較小部分的外緣間的距離均大于零；