[實(shí)用新型]銅銦鎵硒真空蒸鍍?cè)O(shè)備的滾輪輔助加熱裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201621466098.0
• 申請(qǐng)日: 2016-12-29
• 公開（公告）號(hào): CN206273838U
• 公開（公告）日: 2017-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 任宇航;林峰;羅明新
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江尚越新能源開發(fā)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56;C23C14/54;C23C14/26
• 代理公司: 杭州華知專利事務(wù)所33235
• 代理人: 龍湖浩

1.銅銦鎵硒真空蒸鍍?cè)O(shè)備的滾輪輔助加熱裝置，包括放卷機(jī)構(gòu)（1）和收卷機(jī)構(gòu)（2），放卷機(jī)構(gòu)（1）和收卷機(jī)構(gòu)（2）之間設(shè)有若干滾輪（3），銅銦鎵硒卷材（7）通過滾輪（3）走卷，其特征在于：每?jī)筛噜彽乃鰸L輪（3）之間都設(shè)有基底加熱板（4），基底加熱板（4）內(nèi)設(shè)有U型加熱管，設(shè)有對(duì)滾輪（3）進(jìn)行加熱的輔助加熱裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銅銦鎵硒真空蒸鍍?cè)O(shè)備的滾輪輔助加熱裝置，其特征在于：所述輔助加熱裝置為較長(zhǎng)的U型加熱管a（5），設(shè)于滾輪（3）與銅銦鎵硒卷材（7）接觸面的相對(duì)側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銅銦鎵硒真空蒸鍍?cè)O(shè)備的滾輪輔助加熱裝置，其特征在于：所述輔助加熱裝置為較短的U型加熱管b（6），設(shè)于滾輪（3）與銅銦鎵硒卷材（7）接觸面的兩端。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銅銦鎵硒真空蒸鍍?cè)O(shè)備的滾輪輔助加熱裝置，其特征在于：所述輔助加熱裝置包括較長(zhǎng)的U型加熱管a（5）和較短的U型加熱管b（6），U型加熱管a（5）設(shè)于滾輪（3）與銅銦鎵硒卷材（7）接觸面的相對(duì)側(cè)， U型加熱管b（6）設(shè)于滾輪（3）與銅銦鎵硒卷材（7）接觸面的兩端。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的銅銦鎵硒真空蒸鍍?cè)O(shè)備的滾輪輔助加熱裝置，其特征在于：所述滾輪（3）和基底加熱板（4）的排列方向呈向下凸起。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的銅銦鎵硒真空蒸鍍?cè)O(shè)備的滾輪輔助加熱裝置，其特征在于：所述滾輪（3）和基底加熱板（4）上方設(shè)有擋板。