[實用新型]一種具有插拔噴頭的透射電鏡原位氣氛樣品臺有效
| 申請號: | 201621451142.0 | 申請日: | 2016-12-28 |
| 公開(公告)號: | CN206293405U | 公開(公告)日: | 2017-06-30 |
| 發明(設計)人: | 鄧昱;董林;方江鄰;陳強;高飛;湯常金;孫敬方 | 申請(專利權)人: | 南京大學 |
| 主分類號: | H01J37/20 | 分類號: | H01J37/20 |
| 代理公司: | 南京知識律師事務所32207 | 代理人: | 盧亞麗 |
| 地址: | 210093 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 具有 噴頭 透射 原位 氣氛 樣品 | ||
1.一種具有插拔噴頭的透射電鏡原位氣氛樣品臺,包括樣品臺(5)、與外部氣體源相連的原位氣氛管路(4),原位氣氛管路(4)端頭的氣氛噴頭(2)、及樣品載網(1),其特征在于:所述氣氛噴頭(2)為可插拔形式,在氣氛噴頭和原位氣氛管路接口端分別具有配合結構。
2.根據權利要求1所述的透射電鏡原位氣氛樣品臺,其特征在于,所述氣氛噴頭(2)的噴射孔徑尺寸為10-100微米。
3.根據權利要求1所述的透射電鏡原位氣氛樣品臺,其特征在于,所述氣氛噴頭(2)為直孔噴嘴結構。
4.根據權利要求1所述的透射電鏡原位氣氛樣品臺,其特征在于,所述氣氛噴頭(2)的材質為碳化硅或鈦合金。
5.根據權利要求1所述的透射電鏡原位氣氛樣品臺,其特征在于,所述樣品載網(1)的直徑為5mm。
6.根據權利要求1所述的透射電鏡原位氣氛樣品臺,其特征在于,所述氣氛噴頭(2)和原位氣氛管路(4)的連接處有真空膠層(3)。
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