[實用新型]封裝設備異物質去除裝置

有效

• 申請號: 201621420194.1
• 申請日: 2016-12-23
• 公開（公告）號: CN206412323U
• 公開（公告）日: 2017-08-15
• 發明（設計）人: 馮建青;呂明;溫家興;周蘇洲;王超;盧研;韋偉;石源;許云飛;吳永劍;劉勝;于升輝;高佰贊;賽吉夫;高奇吉
• 申請（專利權）人: 海太半導體（無錫）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 無錫市朗高知識產權代理有限公司32262
• 代理人: 趙華

技術領域

本實用新型涉及芯片加工封裝技術領域，特別涉及封裝設備異物質去除裝置。

背景技術

封裝設備用的樹脂有大量碎屑產生粘附在基板傳輸板上,基板傳輸板上的碎屑在傳輸基板時將碎屑粘在基板上,導致基板上有大量碎屑存在,從而造成封裝后有大量不良產生。

實用新型內容

本實用新型提供封裝設備異物質去除裝置，能夠去除粘附在基板傳輸板上的碎屑，為了達到上述目的，本實用新型采用以下技術方案，包括有：真空吸嘴、收集箱、調頻泵以及熱風吹風裝置，所述收集箱通過廢料回收管道與調頻泵連接，所述收集箱通過風管管道與真空吸嘴連接，所述廢料回收管道還與熱風吹風裝置連接。

優選的，所述熱風吹風裝置與調頻泵連接在控制器上。

優選的，所述廢料回收管道內部平行套設有內筒，所述內筒上開設有網孔。

優選的，位于在熱風吹風裝置與真空吸嘴段的廢料回收管道內設置內筒。

優選的，所述廢料回收管道為分段管道拼接而成，分段管道之間利用螺栓固定。

本實用新型的有益效果：調頻泵工作情況下，真空吸嘴將粘附于傳輸基板上的碎屑吸住并順著廢料回收管道回收至收集箱，且廢料回收管道還與熱風吹風裝置連接，通過熱風吹風裝置對緊密粘附于傳輸基板上的碎屑進行加熱，由于熱形變能力的不一樣，使得碎屑與傳輸基板脫離，從而被真空吸嘴回收至收集箱內，本專利申請結構簡單、便于控制，減少基板上碎屑，提高封裝良品率。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的廢料回收管道的內部結構示意圖，確切的說是位于熱風吹風裝置與真空吸嘴段之間的廢料回收管道的內部結構示意圖；

圖3為本專利申請中，利用控制器聯動控制的原理圖；

1、真空吸嘴；2、廢料回收管道；3、熱風吹風裝置；4、收集箱；

5、風管管道；6、調頻泵；7、控制器；8、控制器開關；

9、異物傳感器；10、繼電器Ⅰ；11、時間繼電器Ⅰ；

12、繼電器Ⅱ；13、時間繼電器Ⅱ；14、內筒。

具體實施方式

由圖1、圖3所示可知，本實用新型包括有：真空吸嘴、收集箱、調頻泵以及熱風吹風裝置，所述收集箱通過廢料回收管道與調頻泵連接，所述收集箱通過風管管道與真空吸嘴連接，所述廢料回收管道還與熱風吹風裝置連接。

優選的，所述熱風吹風裝置與調頻泵連接在控制器上，所述控制器可以為PLC控制器，可以為西門子或三菱PLC，所述控制器可以采用單片機控制器，優選51系列或飛思卡爾系列，采用PLC控制器進行控制時，熱風吹風裝置與調頻泵連接在繼電器上，通過繼電器控制熱風吹風裝置與調頻泵交替、循環工作，先除塵，除塵過程中有黏貼比較緊的進行加熱，然后再進行進一步除塵。

為進一步控制熱風吹風裝置以及調頻泵的工作，本專利申請還可以設置有異物感應器，只有在異物感應器感應到有異物存在時才進行調頻泵或者熱風吹風裝工作。

所述異物傳感器可采用光電感應式傳感器，所述異物傳感器與控制器的繼電器連接，如圖3所示，打開控制器開關，異物傳感器工作，發現有碎屑時，輸入、輸出點分別與異物傳感器、調頻泵連接的繼電器Ⅰ吸合進行去除碎屑的工作，同時時間繼電器Ⅰ工作進行調頻泵工作時間的控制，到達設定的工作時間時，調頻泵停止工作，此時異物傳感器進入到工作狀態，當異物傳感器感應到依然有異物存在時，輸入輸出點分別與傳感器、熱風吹風裝置連接的繼電器Ⅱ工作，控制熱風吹風裝置工作，并通過時間繼電器Ⅱ控制熱風吹風裝置工作，熱風吹風裝置工作時間到達時間繼電器Ⅱ時，控制調頻泵工作，其工作時間為時間繼電器Ⅰ設置的時間，時間到達時間繼電器Ⅰ設定時間時，進一步控制異物傳感器進行感應。

由圖2所示，所述廢料回收管道內部平行套設有內筒，確切的說是位于熱風吹風裝置與真空吸嘴段的廢料回收管道內設置內筒，所述內筒為封閉的，熱風吹風裝置的風順著廢料回收管道內筒外側、真空吸嘴后對碎屑進行加熱，加熱后碎屑脫離輸送板，調頻泵工作，碎屑順著內筒進入到收集箱。

所述內筒上還可以開設有網孔，熱風吹風裝置的風順著廢料回收管道、真空吸嘴后對碎屑進行加熱，加熱后碎屑脫離輸送板，調頻泵工作，碎屑順著內筒進入到收集箱。

優選的，所述廢料回收管道為分段管道拼接而成，分段管道之間利用螺栓固定。

上述實施例僅例示性說明本專利申請的原理及其功效，而非用于限制本專利申請。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本專利申請的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術領域中具有通常知識者在未脫離本專利申請所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本專利請的權利要求所涵蓋。