[實用新型]一種膜厚測試儀

有效

• 申請號: 201621384007.9
• 申請日: 2016-12-13
• 公開（公告）號: CN206330562U
• 公開（公告）日: 2017-07-14
• 發明（設計）人: 趙俊華
• 申請（專利權）人: 沈陽聚智真空設備有限公司
• 主分類號: G01B21/08
• 分類號: G01B21/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種膜厚測試儀，其特征在于，包括主機和設置在所述主機上的探頭機構，所述主機包括主板、后面板和前面板，所述主板上設置有電源板、顯示單元、振蕩器采樣單元、按鍵單元和單片機控制單元，所述單片機控制單元分別與所述電源板、所述顯示單元、所述振蕩器采樣單元、所述按鍵單元連接，所述探頭機構包括探頭主體和裝晶片外蓋。

2.如權利要求1所述的膜厚測試儀，其特征在于，所述探頭主體包括陶封體、安裝體、晶片和彈簧片，所述陶封體穿透所述安裝體并且通過設置在所述陶封體底端的同軸電纜與所述晶片連接，所述安裝體通過設置在所述安裝體兩端的水管與所述晶片連接，所述晶片上設置有所述彈簧片。

3.如權利要求2所述的膜厚測試儀，其特征在于，所述探頭主體還包括有法蘭和密封圈，所述法蘭設置在所述安裝體的底端，所述法蘭與所述安裝體之間設置有所述密封圈。

4.如權利要求3所述的膜厚測試儀，其特征在于，所述后面板上設置有并列設置的電源輸入端、保險絲座、通信口、輸入檢測口和輸出控制口。

5.如權利要求4所述的膜厚測試儀，其特征在于，所述前面板上設置有顯示屏和按鍵。

6.如權利要求5所述的膜厚測試儀，其特征在于，所述輸入檢測口包括并列設置的第一探頭座接口、第二探頭座接口、第三探頭座接口、第四探頭座接口、第五探頭座接口和第六探頭座接口。

7.如權利要求6所述的膜厚測試儀，其特征在于，所述輸出控制口包括并列設置的第一拓展口、第二拓展口、第三拓展口、第四拓展口、第五拓展口和第六拓展口。

8.如權利要求7所述的膜厚測試儀，其特征在于，所述晶片為6MHz平面石英測厚晶片。