[實用新型]一種高效型硅片清洗機

有效

• 申請號: 201621286576.X
• 申請日: 2016-11-28
• 公開（公告）號: CN206356307U
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: 凌曉國;岳旭;余傳江
• 申請（專利權）人: 浙江錢江明士達光電科技有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B13/00
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙)33253
• 代理人: 李伊飏

技術領域

本實用新型涉及硅片清洗領域，具體涉及一種高效型硅片清洗機。

背景技術

現有的清洗裝置一般需要將硅片插入承載花籃內，硅片與花籃接觸的部位難以清洗干凈，使得洗完的硅片表面上留有污斑，造成硅片局部清洗不干凈的現象，從而影響硅片的質量。清洗槽都是堿性環境，需要將PH值保持在一定范圍內，而現有技術中都是通過人工經驗對PH值進行調整，操作復雜且不夠精確。所以，一般的清洗裝置的清洗效果比較差，而且清洗效率低。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種高效型硅片清洗機，清洗效果好、清洗效率高，并且能夠減少清洗過程中硅片的劃傷現象。

為解決上述技術問題，本實用新型的目的是這樣實現的：

一種高效型硅片清洗機，包括載物臺，所述載物臺上設置有清洗槽，所述清洗槽內安裝有支架，所述支架上安裝有振動板，所述振動板上設有擱置網，所述擱置網截面呈波浪狀，所述擱置網上還設置有隔板，所述隔板為拼接式隔板并且隔板為鏤空結構，硅片放置在隔板內的擱置網上；所述清洗槽內設置有超聲波發生器，清洗槽底部設有出水管，清洗槽頂部設有進水管。

在上述方案的基礎上并作為上述方案的優選方案：所述清洗槽內設有溫度傳感器和加熱管，所述溫度傳感器和加熱管分別與設置在清洗槽外側的控制器連接。

在上述方案的基礎上并作為上述方案的優選方案：所述清洗槽內設置有PH檢測裝置。

本實用新型的有益效果是：本實用新型采用截面為波浪形的擱置網，能夠減少與硅片的接觸面積，并且擱置網與振動板連接，工作時能夠使硅片脫離擱置板表面，能夠使硅片得到全面的清洗，并且隔板的設置能夠避免硅片與硅片之間的劃傷，同時隔板采用拼接式隔板，可進行拼接組合，能夠適應不同大小的硅片。本實用新型結構簡單，使用方便，清洗效果好、清洗效率高。

附圖說明

圖1是本實用新型的示意圖。

圖2是隔板的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型進一步說明。

如圖1和圖2所示，一種高效型硅片清洗機，包括載物臺1，所述載物臺1上設置有清洗槽2，所述清洗槽內安裝有支架3，所述支架3上安裝有振動板4，所述振動板4上設有擱置網5，所述擱置網5截面呈波浪狀，截面為波浪形的擱置網5能夠減少與硅片的接觸面積，并且擱置網5與振動板4連接，工作時能夠使硅片脫離擱置板表面，能夠使硅片得到全面的清洗，所述擱置網5上還設置有隔板6，所述隔板6為拼接式隔板并且隔板為鏤空結構，鏤空結構不會對超聲波進行阻擋，保障了清洗的效果。硅片放置在隔板6內的擱置網5上，隔板6的設置能夠避免硅片與硅片之間的劃傷，同時隔板采用拼接式隔板，可進行拼接組合，能夠適應不同大小的硅片。所述清洗槽內設置有超聲波發生器7，清洗槽底部設有出水管8，清洗槽頂部設有進水管9。所述清洗槽內設有溫度傳感器10和加熱管11，所述溫度傳感器10和加熱管11分別與設置在清洗槽外側的控制器12連接，溫度傳感器10能夠對清洗槽內的清洗液的溫度進行監測并顯示，當清洗液的溫度低于設定值時，控制器12控制加熱管11加熱，由此保證清洗液在適宜的溫度，進一步改善了清洗效果。所述清洗槽內設置有PH檢測裝置13，能夠使工人直觀地看到清洗槽內清洗液的PH，及時進行調整，進一步保證了清洗的效果。

以上詳細描述了本實用新型的較佳具體實施例。應當理解，本領域的普通技術人員無需創造性勞動就可以根據本實用新型的構思做出諸多修改和變化。因此，凡本技術領域中技術人員依本實用新型的構思在現有技術的基礎上通過邏輯分析、推理或者有限的實驗可以得到的技術方案，皆應在由權利要求書所確定的保護范圍內。