[實用新型]一種XYZ單掃描驅動軸可移動多棱鏡光路直寫設備

有效

• 申請號: 201621246475.X
• 申請日: 2016-11-22
• 公開（公告）號: CN206331233U
• 公開（公告）日: 2017-07-14
• 發明（設計）人: 沈小宏;趙華
• 申請（專利權）人: 無錫影速半導體科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 哈爾濱市陽光惠遠知識產權代理有限公司23211
• 代理人: 耿曉岳

技術領域

本實用新型涉及一種XYZ單掃描驅動軸可移動多棱鏡光路直寫設備，屬于直寫曝光技術領域。

背景技術

PCB(印刷電路板)是電子元器件的支撐體，同時也是電子元器件電氣連接的載體。常見的PCB生產設備有傳統的曝光機、多棱鏡結構激光直寫曝光機、DMD結構激光直寫曝光機等。激光直寫曝光機可以直接將圖像在PCB板上成像，相對于傳統的曝光機，不需要用到菲林，形成的圖像更清晰。

隨著市場對PCB板的功能要求越來越高，PCB板也變得越來越復雜，系統兼容性越高，有時候需要尺寸很大的基板，但是，對于尺寸大于48英寸的超大板，現有技術中還沒有可以高質量加工的技術和設備。傳統的曝光機可以生產超大板，但是其加工精度差，達不到高密度、細間距的要求。

目前激光直寫設備所能曝光的電路板最大尺寸(610×530)，隨著電路板的尺寸的加大，將會導致設備外形尺寸變大，影響拼接精度以及對位精度，導致良品率下降。

如果通過增大吸盤可曝光的尺寸的方法來制備激光直寫曝光機，由于所需的真空吸盤尺寸是比較大的，有時會超過55英寸，會存在如下問題：(1)當所曝光的PCB板實際尺寸較小時，而吸盤結構支持較大的真空范圍，對于沒有覆蓋板子的區域，會產生漏氣，影響吸盤對基板的吸附；(2)由于基板運輸過程中可能會有邊角翹起，若真空吸力不夠，吸盤無法將板子吸平，會影響到曝光PCB板的質量，可造成基板報廢。為解決這一問題，目前的方法有三種：

方法一：直接無視該問題，但會對客戶工廠PCB板要求很高，板子不平時，會來來回回對板子進行手動彎折，嚴重影響生產效率。

方法二：針對不同尺寸的板子，設計不同的吸盤墊板。墊板上吸真空的孔覆蓋范圍，與板子大小一致。這種方法簡單，操作稍微麻煩，但是當生產55英寸的板子時，需要更換55英寸的墊板，難度成倍增加，換墊板的時間，會增加150％～200％，嚴重影響生產效率。

方法三：對于板子未覆蓋抽真空區域，用物品堵上，常用的是裁剪使用過的菲林。這種方法很經濟實惠，但是很麻煩，不同大小的PCB板，需要將菲林裁剪成不同的大小，長期下來，會造成機臺生產區域裁剪后的菲林堆積，尋找需要的尺寸也麻煩。

由此可見，現有技術中通常采用更換尺寸合適的吸盤或者尋找形狀大小合適的廢棄菲林來封堵漏氣點的方式，都會大大降低生產效率。

綜上，目前的多棱鏡光路直寫設備存在不能生產超大板、真空吸盤漏氣等問題亟待解決。

實用新型內容

針對以上問題，本實用新型提供了真空吸盤及含有該真空吸盤的一種XYZ單掃描驅動軸可移動多棱鏡光路直寫設備，以解決現有技術不能生產超大板、真空吸盤漏氣、曝光過程中對焦和定位不準確等問題。

本實用新型的第一個目的是提供一種真空吸盤，所述真空吸盤，包括吸盤主體和真空發生裝置；吸盤主體上以行和列的形式分布一定數量的氣孔，每一行氣孔各對應一個繼電器，每一列氣孔也各對應一個繼電器；每個氣孔與真空發生裝置之間連接有氣孔開關；氣孔開關同時與該氣孔所在行的繼電器和該氣孔所在列的繼電器連接。

在本實用新型的一種實施方式中，所述氣孔開關位于氣孔與真空發生裝置連接的真空管路上。

在本實用新型的一種實施方式中，所述氣孔開關為電磁開關。

在本實用新型的一種實施方式中，所述繼電器與總控制裝置連接。

在本實用新型的一種實施方式中，所述氣孔在吸盤主體上呈中間疏、四周密的分布形式。

在本實用新型的一種實施方式中，所述氣孔的行間距和列間距由吸盤主體中間到兩邊呈均勻遞減的形式。

在本實用新型的一種實施方式中，位于吸盤主體中部區域的氣孔的行間距或列間距最大為1-3英寸，位于吸盤主體邊緣區域的氣孔的行間距或列間距最小為5-8mm。

在本實用新型的一種實施方式中，位于吸盤主體中部區域的氣孔的行間距或列間距最大為3.3英寸，位于吸盤主體邊緣區域的氣孔的行間距或列間距最小為5.6mm。

在本實用新型的一種實施方式中，所述氣孔在吸盤主體上的開口形狀可以是圓形、橢圓形、正方形、長方形等任意形狀，比如圓形。采用圓形的開口形狀，便于吸盤主體的加工，美觀，無死角，易于清洗。

在本實用新型的一種實施方式中，所述氣孔在吸盤主體上的開口面積為10mm²～500mm²。

在本實用新型的一種實施方式中，所述氣孔在吸盤主體上的開口面積為50mm²～350mm²。