[實用新型]一種多掃描驅(qū)動軸固定多棱鏡光路直寫設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201621246320.6 | 申請日： | 2016-11-22 |
| 公開（公告）號： | CN206649281U | 公開（公告）日： | 2017-11-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 沈小宏;趙華 | 申請（專利權(quán)）人： | 無錫影速半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;F16B47/00 |
| 代理公司： | 哈爾濱市陽光惠遠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司23211 | 代理人： | 耿曉岳 |
| 地址： | 214135 江蘇省無錫市新吳*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 掃描 驅(qū)動 固定 多棱鏡 光路直寫 設(shè)備 | ||
1.一種多掃描驅(qū)動軸固定多棱鏡光路直寫設(shè)備，其特征在于，所述多掃描驅(qū)動軸固定多棱鏡光路直寫設(shè)備包括底座、多棱鏡光路、連接板、真空吸盤、多個運動組件、相機；所述運動組件包括一個掃描驅(qū)動Y軸和一個升降驅(qū)動Z軸；真空吸盤位于運動組件上方；所述多棱鏡光路通過連接板與底座連接；
所述真空吸盤包括吸盤主體和真空發(fā)生裝置；吸盤主體上以行和列的形式分布一定數(shù)量的氣孔，每一行氣孔各對應(yīng)一個繼電器，每一列氣孔也各對應(yīng)一個繼電器；每個氣孔與真空發(fā)生裝置之間連接有氣孔開關(guān)；氣孔開關(guān)同時與該氣孔所在行的繼電器和該氣孔所在列的繼電器連接；
所述氣孔的開口形狀為正方形或者長方形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多掃描驅(qū)動軸固定多棱鏡光路直寫設(shè)備，其特征在于，所述氣孔開關(guān)位于氣孔與真空發(fā)生裝置連接的真空管路上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多掃描驅(qū)動軸固定多棱鏡光路直寫設(shè)備，其特征在于，位于吸盤主體中部區(qū)域的氣孔的行間距或列間距最大為3.5英寸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多掃描驅(qū)動軸固定多棱鏡光路直寫設(shè)備，其特征在于，位于吸盤主體邊緣區(qū)域的氣孔的行間距或列間距最小為5.9mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多掃描驅(qū)動軸固定多棱鏡光路直寫設(shè)備，其特征在于，所述多掃描驅(qū)動軸固定多棱鏡光路直寫設(shè)備含有兩個運動組件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多掃描驅(qū)動軸固定多棱鏡光路直寫設(shè)備，其特征在于，所述相機位于真空吸盤上方。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多掃描驅(qū)動軸固定多棱鏡光路直寫設(shè)備，其特征在于，所述掃描驅(qū)動Y軸于升降驅(qū)動Z軸下方，與升降驅(qū)動Z軸連接。
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