[實用新型]監(jiān)測裝置及超聲波清洗機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201621196791.0 | 申請日： | 2016-10-28 |
| 公開（公告）號： | CN206168874U | 公開（公告）日： | 2017-05-17 |
| 發(fā)明（設計）人： | 董明;邵業(yè)明;沈雪松;錢文明 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/12 | 分類號： | B08B3/12;G01D21/00;G01B21/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 監(jiān)測 裝置 超聲波 清洗 | ||
【說明書】：
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