[實用新型]基板檢測裝置

有效

• 申請號: 201621194642.0
• 申請日: 2016-11-04
• 公開（公告）號: CN206292182U
• 公開（公告）日: 2017-06-30
• 發明（設計）人: 張志強
• 申請（專利權）人: 艾斯邁科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/892
• 分類號: G01N21/892;G01N21/01
• 代理公司: 上海信好專利代理事務所(普通合伙)31249
• 代理人: 尹兵

1.一種基板檢測裝置，其特征在于，包含：

裝置本體，所述的裝置本體的一面可活動地設有位移單元，所述的位移單元的一面設有一發光件，并且，所述的裝置本體的所述的一面懸設升降單元；

承載模塊，懸設在所述的位移單元的一面，所述的承載模塊相對所述的位移單元的一面活動地設有若干個夾固單元，所述的若干個夾固單元可活動地夾持基板，并且，所述的承載模塊的本體具有開口；

照明攝像模塊，設置在所述的升降單元上；以及

控制模塊，電耦接所述的位移單元、所述的升降單元及所述的照明攝像模塊，所述的控制模塊接收并依據第一檢測信號而驅使所述的升降單元朝第一方向進行位移，以使所述的照明攝像模塊趨近于所述的基板，所述的控制模塊控制所述的位移單元驅使所述的發光件通過所述的開口朝所述的基板投射第一光源，以及控制所述的位移單元以步進方式朝第二方向或第三方向進行位移，以帶動所述的承載模塊進行位移，并且，所述的控制模塊控制所述的照明攝像模塊獲取所述的基板的若干個第一區域的影像，并產生若干個第一影像。

2.根據權利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述的控制模塊接收所述的若干個第一影像，并經由默認拼接程序將所述的若干個第一影像轉換成一第一全幅檢測影像，并且，所述的控制模塊依據所述的第一全幅檢測影像與第一默認標準影像比對，以產生第一檢測結果信息。

3.根據權利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述的控制模塊接收并依據第二檢測信號而驅使所述的照明攝像模塊朝所述的基板投射第二光源，并控制所述的位移單元以步進方式朝所述的第二方向或所述的第三方向進行位移，以帶動所述的承載模塊進行位移，并且，所述的控制模塊控制所述的照明攝像模塊獲取所述的基板的若干個第二區域的影像，并產生若干個第二影像。

4.根據權利要求3所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述的控制模塊接收所述的若干個第二影像，并經由默認拼接程序將所述的若干個第二影像轉換成第二全幅檢測影像，并且，所述的控制模塊依據所述的第二全幅檢測影像與第二默認標準影像比對，以產生第二檢測結果信息。

5.根據權利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，還包含照明模塊，可活動地設置在所述的裝置本體上，并電連接所述的控制模塊，所述的照明模塊設有聚光單元，所述的控制模塊接收并依據第三檢測信號而控制所述的照明模塊朝所述的承載模塊位移，以使所述的聚光單元位移至所述的位移單元與所述的承載模塊之間，并對應所述的照明攝像模塊，所述的控制模塊控制所述的位移單元以步進方式朝所述的第二方向或所述的第三方向進行位移，以帶動所述的承載模塊依序位移至若干個預定位置，并控制所述的聚光單元通過所述的開口依序朝所述的基板的若干個通口的其中一所述的通口投射聚光源，并且，所述的控制模塊控制所述的照明攝像模塊依序獲取所述的若干個通口的影像，并產生若干個通口影像。

6.根據權利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，還包含測距模塊，電連接所述的控制模塊，并設置在所述的升降單元上，所述的控制模塊依據測量信號而控制所述的測距模塊朝所述的基板投射至少一測距光源，并且，所述的測距模塊接收所述的基板所反射的所述的至少一測距光源，以產生距離信號。

7.根據權利要求6所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述的控制模塊接收所述的距離信號，并據以控制所述的升降單元朝所述的第一方向進行位移，以使所述的照明攝像模塊與所述的基板距離預定工作距離，并且，所述的控制模塊依據所述的第一檢測信號而控制所述的照明攝像模塊獲取所述的基板的各所述的第一區域的影像。

8.根據權利要求3所述的基板檢測裝置，其特征在于，還包含輸入模塊，電連接所述的控制模塊，所述的輸入模塊受至少一觸碰，而選擇性地產生所述的第一檢測信號或所述的第二檢測信號，并傳送所述的第一檢測信號或所述的第二檢測信號至所述的控制模塊。

9.根據權利要求2所述的基板檢測裝置，其特征在于，還包含存儲模塊，電連接所述的控制模塊，所述的存儲模塊中存儲所述的默認拼接程序、所述的第一默認標準影像、所述的第一全幅檢測影像及所述的第一檢測結果信息。