[實用新型]用于處理太陽能電池的設備和用于制造太陽能電池的系統有效
| 申請號: | 201621194051.3 | 申請日: | 2016-10-28 |
| 公開(公告)號: | CN206293457U | 公開(公告)日: | 2017-06-30 |
| 發明(設計)人: | G·塞勒爾 | 申請(專利權)人: | 應用材料意大利有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;H01L21/66 |
| 代理公司: | 上海專利商標事務所有限公司31100 | 代理人: | 侯穎媖 |
| 地址: | 意大利*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 處理 太陽能電池 設備 制造 系統 | ||
1.一種用于處理太陽能電池的設備,所述設備包括:
雙線運輸布置,所述雙線運輸布置具有第一運輸線路和第二運輸線路且配置為用于運輸所述太陽能電池;
至少一個第一工藝站,所述至少一個第一工藝站在所述雙線運輸布置處;
單線運輸布置,所述單線運輸布置具有第三運輸線路且配置為用于運輸所述太陽能電池;
至少一個第二工藝站,所述至少一個第二工藝站在所述單線運輸布置處;以及
傳送模塊,所述傳送模塊在所述至少一個第一工藝站與所述至少一個第二工藝站之間,其中所述傳送模塊被配置為用于將所述太陽能電池從所述第一運輸線路和所述第二運輸線路傳送至所述第三運輸線路,或反之亦然。
2.如權利要求1所述的設備,其特征在于,所述傳送模塊具有至少一個傳送裝置,所述至少一個傳送裝置被配置為用于將所述太陽能電池從所述第一運輸線路和所述第二運輸線路移動至所述第三運輸線路,或反之亦然。
3.如權利要求2所述的設備,其特征在于,所述至少一個傳送裝置被配置為用于將所述太陽能電池從所述第一運輸線路和所述第二運輸線路橫向移位至所述第三運輸線路,或反之亦然。
4.如權利要求2所述的設備,其特征在于,所述至少一個傳送裝置是第一傳送裝置和第二傳送裝置,其中所述第一傳送裝置被配置為用于將太陽能電池從所述第一運輸線路移動至所述第三運輸線路,并且其中所述第二傳送裝置被配置為用于將太陽能電池從所述第二運輸線路移動至所述第三運輸線路。
5.如權利要求2所述的設備,其特征在于,所述至少一個傳送裝置選自由以下項組成的組:夾持器、機械夾持器、真空夾持器、伯努利型固持器、靜電夾持器、電動夾持器、和它們的任何組合。
6.如權利要求1所述的設備,其特征在于,所述至少一個第一工藝站選自由以下項組成的組:電氣測試站、光學檢查站、印刷站、干燥站、分類站、和它們的任何組合。
7.如權利要求1所述的設備,其特征在于,所述至少一個第二工藝站選自由以下項組成的組:電氣測試站、光學檢查站、印刷站、干燥站、分類站、和它們的任何組合。
8.如權利要求1所述的設備,其進一步包括在所述至少一個第二工藝站下游的分類站。
9.如權利要求1所述的設備,其特征在于,所述第一運輸線路和所述第二運輸線路以彼此相繼和彼此平行中的至少一個方式延伸。
10.如權利要求1至9中任一項所述的設備,其特征在于,所述設備配置用于對布置于所述雙線運輸布置的所述第一運輸線路和所述第二運輸線路上的所述太陽能電池執行第一測試程序;將定位于所述第一運輸線路和所述第二運輸線路上的所述太陽能電池移動至所述單線運輸布置中的所述第三運輸線路;以及對布置于所述第三運輸線路上的所述太陽能電池執行第二測試程序。
11.如權利要求10所述的設備,其特征在于,所述第一測試程序包括測量所述太陽能電池的電氣特性。
12.如權利要求10所述的設備,其特征在于,所述第二測試程序包括光學檢查所述太陽能電池。
13.一種用于制造太陽能電池的系統,所述系統包括:
一或多個生產站,所述一或多個生產站用于生產所述太陽能電池;以及
如權利要求1所述的設備,其中所述設備被配置為用于以下中的至少一者:測試和檢查由所述一或多個生產站生產的所述太陽能電池。
14.如權利要求13所述的系統,其特征在于,所述雙線運輸布置的所述第一運輸線路和所述第二運輸線路延伸通過所述一或多個生產站中的至少一個生產站。
15.如權利要求13或14所述的系統,其特征在于,所述一或多個生產站選自由以下項組成的組:印刷站、干燥站、緩沖站、和它們的任何組合。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





