[實用新型]一種切割硅的裝置

有效

• 申請號: 201621189386.6
• 申請日: 2016-11-04
• 公開（公告）號: CN206306272U
• 公開（公告）日: 2017-07-07
• 發明（設計）人: 張文凱
• 申請（專利權）人: 上海麥浦新材料科技有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04;B28D5/04
• 代理公司: 上海世貿專利代理有限責任公司31128
• 代理人: 李浩東

技術領域

本實用新型涉及切割設備技術領域，尤其涉及一種切割大量高壓硅的裝置。

背景技術

現有的硅堆分割有以下幾種方法：第一、機械劃片分割，這是比較原始的硅片分割方法，最大分割厚度1.2mm，在分割單片硅片時效果還行，但是成品率在85%左右，對于較厚的高壓硅堆圓片來說就不太容易分割，就是分割好的硅堆，邊緣非常不規則，容易磕碰出崩邊，且影響后續的封裝，成品率也只有65-70%；第二、外圓刀片切割，雖然切割的厚度可以達到2cm，但是效率比較低，而且刀縫損失（2-3mm）比較大，每片圓形高壓硅堆有效利用面積減少了約30％,成品率比劃片機略高可達到85%左右；第三、激光切割，效率有所提高，但是切割過程中激光的高溫對高壓硅堆邊緣的兩端的P或N面容易造成燒結坑，而且對硅堆燒結過程中的金屬層造成熔化并在硅堆邊緣形成短路，使硅堆耐壓不夠或被漏電擊穿，因此極大的影響了企業的生產。

實用新型內容

為了克服背景技術中的不足，解決切割邊緣不規則，容易磕碰出崩邊，燒結過程中易在硅堆邊緣形成短路等問題，本實用新型公開了一種切割硅的裝置，通過在工裝上設置定位銷、擋塊以及多塊板，再通過將硅堆圓片固定于兩塊板之間，以此來達到高效切割的目的。

本實用新型提供了一種切割硅的裝置，其特征在于，它包括下工裝2，所述下工裝2上表面上設有上工裝1，所述下工裝2上還設有兩個定位銷6，所述上工裝1的中部設有防松動螺絲孔3，所述防松動螺絲孔3的四周設有加緊螺絲孔4，所述上工裝1通過防松動螺絲孔3和加緊螺絲孔4 與下工裝2相連接，所述上工裝1的側面設有擋塊5，所述擋塊5位于兩個定位銷6間，所述上工裝1的上表面上設有緩沖隔板7，所述緩沖隔板7上設有載物板8，所述載物板8上設有頂蓋板9。

進一步地，所述上工裝1為圓柱型結構，所述防松動螺絲孔3設置在圓柱的中心部，沿所述防松動螺絲孔3四周等間距設有不少于四個加緊螺絲孔4。

進一步地，所述防松動螺絲孔3包括螺絲孔口301和螺絲孔內壁302，所述螺絲孔內壁302設有若干凸臺303。

進一步地，所述凸臺303呈圓柱形，所述凸臺303與螺絲孔內壁302是一次性成型的連接體。

進一步地，所述凸臺303的上端位置低于螺絲孔口301。

進一步地，所述緩沖隔板7為樹脂材料制作而成。

進一步地，所述定位銷6為圓柱型結構，所述定位銷6設置在上工裝1的外側面上，所述定位銷6與下工裝2固定連接。

本實用新型的優點在于，實用性強，分割精度高，不但大幅度節約了硅料，而且成品率非常的高，因此極大的提高了工作效率，促進了企業的發展；在螺絲孔內壁設計圓柱形凸臺，配合螺絲使用，提高可靠性，柱形凸臺的上端位置低于螺絲孔口，螺絲更易放入，操作更人性化。

附圖說明

圖1為本實用新型的整體結構示意圖；

圖2為本實用新型中防松動螺絲孔的結構示意圖。

各附圖中的標號表示如下：

1. 上工裝；

2. 下工裝；

3. 防松動螺絲孔；

301．螺絲孔口； 302螺絲孔內壁； 303.凸臺；

4. 加緊螺絲孔；

5. 擋塊；

6. 定位銷；

7. 緩沖隔板；

8. 載物板；

9. 頂蓋板。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的描述。

本實用新型提供了一種切割硅的裝置，其特征在于，它包括下工裝2，所述下工裝2上表面上設有上工裝1，所述下工裝2上還設有兩個定位銷6，所述上工裝1的中部設有防松動螺絲孔3，所述防松動螺絲孔3的四周設有加緊螺絲孔4，所述上工裝1通過防松動螺絲孔3和加緊螺絲孔4 與下工裝2相連接，所述上工裝1的側面設有擋塊5，所述擋塊5位于兩個定位銷6間，所述上工裝1的上表面上設有緩沖隔板7，所述緩沖隔板7上設有載物板8，所述載物板8上設有頂蓋板9。

進一步地，所述上工裝1為圓柱型結構，所述防松動螺絲孔3設置在圓柱的中心部，沿所述防松動螺絲孔3四周等間距設有不少于四個加緊螺絲孔4。

進一步地，所述防松動螺絲孔3包括螺絲孔口301和螺絲孔內壁302，所述螺絲孔內壁302設有若干凸臺303。

進一步地，所述凸臺303呈圓柱形，所述凸臺303與螺絲孔內壁302是一次性成型的連接體，一體成型適用于大規模生產，提高生產效率，降低成本；